【科普专栏】光刻胶知多少——晶瑞电材全资子公司苏州瑞红为您答疑解惑（系列2）

      苏州瑞红电子化学品有限公司成立于1993年，是目前国内研发生产集成电路、光电显示用光刻胶历史最长、规模最大的专业光刻胶企业之一。

      苏州瑞红产品品类齐全，拥有宽谱紫外正-负型、g线、i线、KrF、电子束、TFT光刻胶等多种系列型号，产品已批量供应中芯国际、华虹宏力、合肥长鑫等国内主流半导体厂商。为了促进公司可持续发展，同时解决国家集成电路用关键材料“卡脖子”问题，苏州瑞红已于2020年开展ArF光刻胶的研发工作。

      公司现已建成国际先进水平的光刻胶自动化生产线，配备国内唯一的全系列波长（436/365/248/193nm）光刻胶研发测试平台，拥有一支具备丰富光刻胶研发生产经验的技术队伍，先后承担并完成了国家“85”攻关、“863”重大专项、国家“02专项”。公司建立了一套严格的符合现代微电子化学品生产要求的管理体系，并通过ISO9001、ISO14001及ISO45001等管理体系认证。

      为增强市场竞争力，公司研发生产一系列配套光刻制程使用的电子化学品，产品包括显影液、稀释剂、剥离液、漂洗液、蚀刻液等，广泛应用于集成电路与光电显示等行业。

      在未来，公司将持续秉承“以人为本、自主创新、绿色发展”的经营理念，不断做精做强，努力打造具备国家核心竞争力的产品，提升品牌价值，为保障国家集成电路产业链安全贡献力量。

      在摩尔定律的引领下，光刻工艺的不断进步使得集成电路尺寸越来越小，集成度和性能不断提高，单个晶体管的平均价格越来越低。光刻机经历了接触/接近、等倍投影、缩小步进投影、步进扫描投影等曝光方式的变革。光刻胶曝光光源的波长也由紫外宽谱，436nm（g线）一直发展到13.5nm(EUV)。制程节点从早年的数微米，一直到目前的小于7纳米制程。所使用硅片尺寸也从4英寸发展到12英寸。

1）  i线光刻胶－使用量伴随功率器件同步增长

      1990年代中期，KrF光刻胶的商业化，将当时的先进制程从0.35um推进到了0.25um。目前，KrF光刻胶广泛应用于0.25um及以下各制程。同时，在NAND闪存从2D平面结构转为3D堆叠构架的过程中，厚膜KrF光刻胶大量使用于3D NAND堆叠架构的制作上。

      自20世纪开始的20年来，ArF光刻胶一直是半导体先进制程领域性能最可靠、使用最广泛的光刻胶。EUV光刻系统商用化延迟的10年里，在浸润式光刻系统、负显影工艺、多重光刻工艺等新技术、新工艺的辅助下，ArF光刻系统不断突破瓶颈，将先进制程从45nm一直推进到了7nm工艺。目前，ArF光刻胶主要用于先进制程的多重光刻工艺，其用量也随着市场对先进工艺产品的需求不断增长。

4） EUV光刻胶－先进制程中多次光刻工艺大量使用

      EUV光刻技术的研发始于20世纪80年代，第一台EUV光刻机原型机ADT和预量产型号NXE:3100分别在2006年和2010年投入研发使用。2019年，台积电和三星的7nm EUV制程开始量产，标准着集成电路制造正式迈入了EUV时代。

      目前，EUV光刻胶用于最先进逻辑芯片(CPU, GPU)和存储芯片(DRAM)的制造,并将先进制程迅速从7nm，不断演进到5nm与3nm。随着先进制程EUV光刻道次的增加(从最初7nm+上使用的3道，逐渐增加到5nm的14道和3nm的22道。)，EUV光刻胶的使用量将大幅增加。

    晶瑞电子材料股份有限公司（SZ 300655，简称“晶瑞电材”） 成立于2001年，现资产规模达30亿，是一家国际领先的微电子材料的平台型高新技术企业。

      晶瑞电材子公司苏州瑞红是国内少有的既有规模又有利润的成熟光刻胶企业，销售规模和盈利能力处于国内领先位置。瑞红公司已建成全系列光刻胶研发平台，经过三十年积累，拥有负型光刻胶系列、宽谱正胶系列、g线光刻胶系列、i线光刻胶系列、KrF光刻胶系列等数十个型号产品，ArF光刻胶的研发工作有序开展中。瑞红部分产品占据国内主要市场份额，部分产品进入了头部芯片公司。

      在高纯电子化学品方面，公司已跻身国际最先进水平，成为全球范围内同时掌握半导体级高纯双氧水、高纯硫酸、高纯氨水三项技术的少数几家企业之一，三项产品整体达到了最高纯度SEMI G5等级，同时建成了高纯硫酸、高纯双氧水两大高纯电子化学品国内最大产能；产品已获得中芯国际、华虹宏力、长江存储、合肥长鑫等国内知名半导体客户的批量采购。其中高纯双氧水已成为头部芯片公司的主供应商，高纯硫酸和高纯氨水已供货部分主流客户。

      公司锂电池材料实现国内0到1的生产。公司核心产品NMP是三星环新国内唯一供应商，自主研发的CMCLi粘结剂生产线已量产，实现了我国在该领域零的突破，打破了高端市场被国外企业垄断的格局。

      秉持竭尽所能，竭尽所纯的核心理念，带着满足最高标准客户需求的使命，通过最佳的QCDS（质量、成本、交期、服务）为客户创造价值，成为具有国际水准的电子材料企业联合体。