📍上海·3月26-28日
SEMICON
凌恒工业SEMICON China
2025年3月26日-28日，作为全球半导体行业的年度风向标 SEMICON China在上海新国际博览中心盛大举办。这场展览面积达10万平方米、汇聚1400家展商与5万专业观众的盛会，不仅以“国际化、全产业链覆盖”为特色，更通过前沿技术展示与深度行业对话，描绘了半导体产业的未来图景。此次展会亮点满满，各类新技术、新产品层出不穷，为行业发展注入新活力。作为国内半导体行业精密温控设备研发和制造的领军企业，上海凌恒工业自动化有限公司（以下简称”凌恒工业“）凭借其在半导体制造温控领域的卓越表现和创新成果，在展会上引起各方的广泛关注。
凌恒工业作为半导体产业的重要参与者，一直致力于提供半导体制造及其相关领域的高、低温精密控制解决方案，在电加热、低温冷却及超低温工况下的温控设备的研发、生产和安装方面有着丰富的经验，本次展会，公司向观众展示了最新研发的低碳环保CO2Chiller系列产品和成熟的Heating Jacket System产品。
SEMICON CHINA | 凌恒工业展位人气火爆
首展告捷不是终点，凌恒工业将持续深耕半导体温控赛道，期待与您共拓智造新边界!……
参展产品
节能环保 稳定可靠 快速响应
Chiller作为半导体行业温控系统的重要组成部分，其品质的高低直接影响半导体晶圆制造过程中温度的稳定性。凌恒工业自2013年创办以来不断创新，注重研发和质量把控，生产的Chiller系列产品具有设置方便、快速响应、高效节能而精确控温等特点，真正实现了低能耗、高稳定性的冷却效果，赋能半导体晶圆制造。
Heating Jacket System
全PTFE材质 高效升温
Heating Jacket产品采用优质的加热元件和高精度控温系统，能在短时间内实现快速升温，并具备高效的控温效果。通过不断优化加热过程，采用全PTFE材质，整体提高了系统的稳定性。
什么是 Heating Jacket System？
Heating Jacket System是用来维持各种科技生产中所使用的真空管路、气体管路中的温度，依照客户要求量身定做。
目前广泛应用于半导体真空或排气不锈钢管的温度维持，以避免因内部低温而造成未反应完全的介质生成副生成物，凝结于管壁内壁，造成阻塞或者其他问题导致排气效率降低。
系统由Heating Jacket、温度控制器、HMI控制箱等组成，用于即时监控管道状况和加热管道。
「典型应用」
气体输送管
三氯化硼(BCl3)、三氟化氯（ClF3）、正硅酸四乙酯TEOS、二氯硅烷DCS（SiH2Cl2）、六氟化钨WF6、工艺气体管线鉴定
CVD和金属蚀刻
低压化学气相沉积、等离子体增强化学气相沉积
等离子蚀刻
铝蚀刻、钨蚀刻
