再拓新版图 | 罗伯泰克助力半导体产业实现智慧物流布局- 大数跨境

音飞储存

2023-03-10

导读：该项目的成功实施标志着半导体晶圆自动化存储的有效突破，也意味着罗伯泰克将正式进军半导体领域，用智慧物流自动化解决方案赋能半导体企业。未来，罗伯泰克将持续探索，积累行业认知，提升资源利用率，实现整体效益

半导体芯片是信息技术的核心基石，也是各国竞相发展的重要新兴技术和产业。晶圆作为制造半导体芯片的基础材料，对于我国半导体行业的发展有着非常重要的作用。在晶圆制造的产能方面，中国已经走在世界前列，但随着全球“缺芯潮”愈演愈烈，将进一步加速产能扩张。

项目背景

某国内半导体行业上市集团控股子公司，作为国家电子信息材料的排头兵，致力于半导体材料、电子专用材料、半导体器件等技术的研发、制造，主要产品半导体区熔单晶-硅片综合实力全球前三，国内市场占有率超过80%。

为加速产能扩张，该公司投资约30亿美元在江苏宜兴市启动建设集成电路用大直径硅晶片生产与制造项目。该项目二期已于2021年启动建设，秉承“工业4.0”先进理念，规划全线引用智能制造，实现车间的自动化、信息化、智能化建设。建成后将实现总产能为：月产8英寸外延片22万片、12英寸抛光片20万片、12英寸外延片15万片，成为具有全球优势的硅晶片生产基地。为此，在该集团的智能仓储方面，罗伯泰克通过为其实施先进的智能仓储系统来提高生产基地的智能化、信息化、自动化水平。

项目规划

罗伯泰克充分利用生产基地6m的垂直空间，为其规划了4巷道箱式自动化立库，用于存取半导体晶圆产品，总计可容纳2000多个货位，使得晶圆的存储量有效提高。因晶圆为片状物，故其载具采用特别定制的330*330*300透明专用塑制容器，便于晶圆的存取，最大载荷50kg，解决了晶圆存储工艺复杂，传统仓库空间利用率有限的问题，达到空间利用率和效率的双重提升。

在高效作业方面，罗伯泰克选用斑马系列堆垛机系统进行高动态物料流转，水平配速为100m/min，满足生产基地24小时工作制生产节拍，存储效率可达单循环63P/h。

无惧挑战，定制化创新

挑战一

半导体晶圆的存储特点是要保证防尘、防震，否则容易对脆弱的晶圆片造成损害。基于此，罗伯泰克对堆垛机的机械结构进行非标定制升级，例如：以铝合金地轨替代常规使用的钢轨，高强度冷拉铝合金立柱替代钢制立柱，包胶轮替代钢轮，同步带升降替代钢丝绳升降，加设载货台防尘罩等，从前期的设备设计阶段就已经最大限度的减少了粉尘及震动对货物的影响，同时减少了无尘车间污染带来的风险，提升了良品率；洁净等级可符合Class 1000环境要求。

挑战二

因晶圆载具为透明塑制盒，无法使用常规光电传感器探货，罗伯泰克创新设计使用超声波传感器装置进行货物探测，可自动检测出货架及载货台上的货物状况。并配置了摄像头及移动手操屏，实现所有物料全流程可视化精准追溯的同时，以更便利的方式排除并解决故障。

挑战三

为防止晶圆从载具中滑落，载具在货架、货叉上均为斜5度放置，通过将晶圆盒底部卡槽插进堆垛机载货台专用工装的三个定位销上进行存储，实现高精度定位及稳定叉取，经过反复测试，最终定位精度达到±2mm，叉取平稳度达到99.99%。除此之外，设备采用多种互锁装置，有效提高整体的稳定性及安全系数。

作为自动化仓储解决方案专家，罗伯泰克基于先进设备和完备系统所构建的能力，实现了晶圆物料全程无污染、可实时追溯的智慧物流解决方案。

该项目的成功实施标志着半导体晶圆自动化存储的有效突破，也意味着罗伯泰克将正式进军半导体领域，用智慧物流自动化解决方案赋能半导体企业。未来，罗伯泰克将持续探索，积累行业认知，提升资源利用率，实现整体效益提升。

【声明】内容源于网络

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音飞是国内先进的仓储物流自动化设备及货架制造企业，借此发布音飞最新产品、新闻，为行业发展做出努力

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