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扫描电镜背散射模式操作教程(附下载资源)

扫描电镜背散射模式操作教程(附下载资源) 研酷综合材料科研服务平台
2017-11-01
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导读:背散射模式下可以很好地进行元素的分布进行分析,小编整理了背散射模式的操作流程(接上篇)。希望可以帮助到大家。

背散射模式下可以很好地进行元素的分布进行分析,是电子扫描电镜种的一个重要模块。这里小编为大家整理了背散射模式详细的操作流程,希望可以帮到大家。关注“研酷综合材料科研服务平台”,回复“背散射”,即可获得更详细电子版教程。


1. 工作距离需要调节为8~15mm,因为样品倾角台倾角为0时才可插入探测器。

按主机上的GUN VAVLECLOSE键,此处变亮;

2.点击电脑界面上箭头所示处(RBEIIN

3. 背散射电子探针进入工作状态,探针进入真空室(图中为背散射电子探针工作状态)

4.探针深入之后,等待约90s,按灭主机上的GUN VAVLE CLOSE键,此灯灭;

5. 先在SEI模式下调清楚,然后改变成像模式,背散射电子成像选择COMPO模式,因为背散射电子一般都是在SEI选择好之后进行成像,故换成背散射电子成像模式之后可直接进行拍照保存(拍照保存方法与二次电子成像方法一致)

6. 完成后右下角显示参数

7. 背散射成像完成之后,点击电脑界面上RBEI IN,退出背散射探针,背散射成像完成



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