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聚焦离子束电子显微镜（Focused Ion beam FIB），是一种显微分析技术和制样手段。它是将离子源产生的离子束经过离子枪加速聚焦后作用于样品表面。产生二次电子信号取得电子像可实现显微组织分析。强电流离子束对样品原子进行剥离从纳米或微米尺度的试样中直接切取可供透射电镜或高分辨电镜研究的薄膜。其中TEM观察试样的制取是其主要的应用。
图2. 聚焦离子束扫描电子显微镜 FEI-450
目前平台拥有两台聚焦离子束电子显微镜分别为FEI-400和FEI-450。两台设备运行良好可以保证制样周期。操作老师专职操作8年，拥有丰富的制样经验可以很好的保证制样质量。
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