表3：三坐标测量机（CMM）校准验证记录表
序号
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仪器信息
（必填）
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校准/验证类型
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校准/验证环境
（必填）
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校准/验证内容
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标准值/要求
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实测值
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偏差
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判定结果
（合格/不合格）
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备注
（必填）
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1
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仪器名称：仪器编号：测量范围：上次校准日期：
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□全面几何校准□动态测量验证□日常巡检
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温度：20±2℃湿度：40%-60%振动：≤0.1g
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几何精度（空间测量误差）
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≤0.5μm，示值误差≤±(0.5+L/300)μm（L为测量长度）
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校准机构/人员：校准证书编号（如有）：
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2
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同序号1
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同序号1
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同序号1
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几何精度（定位/重复定位精度）
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均≤0.5μm
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使用标准球杆/标定板测试
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3
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同序号1
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同序号1
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同序号1
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位姿测量（机器人关键点）
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坐标误差≤0.5mm
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测试关节末端执行器、连杆关键点
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4
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同序号1
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同序号1
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同序号1
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动态测量稳定性
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速度≤1m/s时，误差≤±1μm
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配合高速触发系统测试
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填表人：_______ 审核人：______ 填表日期：_______ 有效期至：________
表4：校准验证台账（汇总追溯用）
序号
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仪器名称
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仪器编号
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校准/验证日期
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校准/验证类型
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判定结果
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校准/验证机构/人员
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证书编号
（如有）
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下次校准/验证日期
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超差处理情况
（如有）
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1
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2
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3
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台账管理员：__________ 更新日期：__________ 数据保存期限：≥3年