NDIR（Non-Dispersive Infrared）气体浓度仪是一种非色散红外光谱吸收仪器，根据朗伯比尔吸收定律，通过检测清洗工艺过程中氟化物或者其他特定气体的浓度变化，来判断是否清洗干净。在机台上安装使用，有效防止清洗不干净和过度清洗。
NDIR气体浓度仪主要应用于CVD腔室清洗终点检测、ALD腔室清洗终点检测，具有在线无损检测、高稳定性高重复性、超低检测限、配置终点检测算法、便携易安装等特点。
NDIR气体浓度仪
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【产品篇】NDIR气体浓度仪
上海车仪田科技有限公司2024-12-26
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上海车仪田科技有限公司
专注于研发制造半导体设备专用光电控制子系统，在等离子体光谱诊断、干涉光谱分析、傅立叶光谱分析、吸收光谱分析、辐射测温、荧光测温、涡街流量、质谱分析、声波分析等技术领域提供产业化应用产品。
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