MTS（Multi-channel Temperature Sensor）多通道光纤红外测温仪基于红外辐射原理，提供非接触式温度测量功能。该产品采用模块化设计，能够快速调整以满足各个工艺应用的独特要求。
MTS多通道光纤红外测温仪主要应用于RTP热处理、激光退火、ALD原子层沉积、UV固化、HDP-CVD高密度电浆化学气相沉积、MOCVD金属有机化学气相沉积、太阳能电池封装和硬盘(HDD)处理及其他工业流程领域，具有模块化设计、可测温范围广、便携易安装等特点。
MTS多通道光纤红外测温仪
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【产品篇】MTS多通道光纤红外测温仪
上海车仪田科技有限公司2025-01-15
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上海车仪田科技有限公司
专注于研发制造半导体设备专用光电控制子系统，在等离子体光谱诊断、干涉光谱分析、傅立叶光谱分析、吸收光谱分析、辐射测温、荧光测温、涡街流量、质谱分析、声波分析等技术领域提供产业化应用产品。
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