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车仪田 | 专注于研发制造半导体设备专用光电控制子系统

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车仪田 | 专注于研发制造半导体设备专用光电控制子系统

车仪田 | 专注于研发制造半导体设备专用光电控制子系统

上海车仪田科技有限公司

2023-10-13

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导读：持续改善精益求精

上海车仪田科技有限公司专注于研发制造半导体设备专用光电控制子系统，公司团队成员拥有数十年的半导体产品产业化经验，是国内半导体设备龙头公司的光电类供应商战略合作伙伴。公司在等离子光谱诊断、干涉光谱、傅里叶光谱分析、黑体辐射、非接触测温、多普勒效应、涡流流量、质谱分析、超声探测、偏振分析等技术领域提供产业化应用产品。产品应用的设备几乎覆盖半导体芯片制造的全部工艺制程，包括Etch刻蚀机、Cleaner清洗机、CVD薄膜沉积、PVD物理沉积、Strip去胶、CMP抛光，炉管等。

公司和国内的多家半导体设备企业深度合作，战略绑定，承接了数十项卡脖子核心部件的研发攻关任务。公司多款系列产品已经通过验收并批量随客户机台运行在国内一线Fab，既解决了国内半导体设备产业的供应链风险，又提供了差异化定制，为更加精确的工艺诊断和控制手段提供技术支持。

公司产品

01.光谱分析系列

02.测温系列

03.浓度仪、流量计

【声明】内容源于网络

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上海车仪田科技有限公司

专注于研发制造半导体设备专用光电控制子系统，在等离子体光谱诊断、干涉光谱分析、傅立叶光谱分析、吸收光谱分析、辐射测温、荧光测温、涡街流量、质谱分析、声波分析等技术领域提供产业化应用产品。

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上海车仪田科技有限公司专注于研发制造半导体设备专用光电控制子系统，在等离子体光谱诊断、干涉光谱分析、傅立叶光谱分析、吸收光谱分析、辐射测温、荧光测温、涡街流量、质谱分析、声波分析等技术领域提供产业化应用产品。

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