【产品篇】IEP刻蚀终点检测系统

专注于研发制造半导体设备专用光电控制子系统，在等离子体光谱诊断、干涉光谱分析、傅立叶光谱分析、吸收光谱分析、辐射测温、荧光测温、涡街流量、质谱分析、声波分析等技术领域提供产业化应用产品。