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上海车仪田科技有限公司专注于半导体设备专用光电控制子系统的研发与制造。公司深耕半导体工艺中关键在线测控零部件平台化解决方案，围绕等离子体光谱分析、高精度温度测控、气体与液体浓度分析三大关键技术领域，为客户提供在线式检测零部件与子系统解决方案。目前，公司产品已广泛应用于半导体芯片制造的多个核心工艺环节。
凭借持续的技术创新与研发积累，上海车仪田已荣获高新技术企业、上海市“专精特新”中小企业资质，并于近日正式通过闵行区企业技术中心认定。
公示原文
2025年闵行区企业技术中心认定名单
车仪田以“持续改善、精益求精”为企业精神，不断探索和努力。未来我们将步履不停，为半导体行业的发展贡献自己的力量，为产业的繁荣做出贡献。
