RTC（Reflectance Temperature and Curvature）原位测量系统通过光电转换模块采集晶圆上特定波段的辐射信号，进行温度、反射率和翘曲的计算和分析，并兼备异常报警功能和实时热力图功能，能够直观并实时地监测机台的工艺过程。
RTC原位测量系统主要应用于EPI外延生长设备、RTP快速退火设备、MOCVD金属有机化学气相沉积设备，具有非接触测量、灵活组合测量、高速采集等特点，能适配不同的腔体，便携易安装。
RTC原位测量系统
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【产品篇】RTC原位测量系统
上海车仪田科技有限公司2024-12-17
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上海车仪田科技有限公司
专注于研发制造半导体设备专用光电控制子系统，在等离子体光谱诊断、干涉光谱分析、傅立叶光谱分析、吸收光谱分析、辐射测温、荧光测温、涡街流量、质谱分析、声波分析等技术领域提供产业化应用产品。
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