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【产品篇】超声波浓度仪

【产品篇】超声波浓度仪 上海车仪田科技有限公司
2025-02-10
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超声波浓度仪采用超声波技术探测和分析二元混合气体的浓度,根据超声波传播速度与气体浓度的关系,测得在等距离气腔中两路气体传播的相位差,从而计算出气体浓度。
超声波浓度仪主要应用于MOCVD金属有机化学气相沉积、APCVD常压化学气相沉积、PECVD等离子体增强化学气相沉积、HTCVD高温化学气相沉积、ALD原子层沉积、HDP-CVD高密度等离子体化学气相沉积等领域,具有便携易安装、温度控制精确、稳定性高、可定制不同检测气体等特点。

超声波浓度仪

【声明】内容源于网络
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上海车仪田科技有限公司
专注于研发制造半导体设备专用光电控制子系统,在等离子体光谱诊断、干涉光谱分析、傅立叶光谱分析、吸收光谱分析、辐射测温、荧光测温、涡街流量、质谱分析、声波分析等技术领域提供产业化应用产品。
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上海车仪田科技有限公司 专注于研发制造半导体设备专用光电控制子系统,在等离子体光谱诊断、干涉光谱分析、傅立叶光谱分析、吸收光谱分析、辐射测温、荧光测温、涡街流量、质谱分析、声波分析等技术领域提供产业化应用产品。
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