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1.激光旋切打孔工作原理:
激光旋切打孔通过独特的"螺旋进给"方式实现精密加工:
(1) 能量聚焦系统:将激光束聚焦至10-20μm光斑,能量密度达10⁶W/cm²级;
(2) 动态控制系统:激光头以20000-50000rpm旋转,倾斜角度5-45°可调;
(3) 材料去除机制:螺旋轨迹使材料逐层汽化,最小热影响区<5μm;
2.激光旋切打孔的技术优势
(1)打孔方式对比
(2)核心优势
A 可高精度控制:进出口尺寸,以实现无锥度孔、正锥度孔、负锥度孔,
B 非接触加工:避免刀具磨损,适合脆性、薄壁材料。
C 高灵活性:通过编程调整参数,快速切换不同孔径和孔型。
D 高效率:单孔加工时间可短至毫秒级,适合大批量微孔阵列加工。
3.应用领域
(1)半导体制造:
3D封装TSV通孔, 晶圆级封装微孔阵列
(2) 航空航天:
涡轮叶片气膜孔, 航空燃油喷嘴
(3) 医疗器械:
可降解支架微孔 , 微针阵列
4.结束语:未来趋势
激光旋切打孔技术正推动微加工向更高精度、更复杂结构发展,成为高端制造不可或缺的核心工艺。未来,随着技术不断升级,它还将在量子计算、生物医疗等前沿领域创造更多可能!
上海岳乾激光科技有限公司
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