2026慕尼黑上海光博会将于2026年3月18日至20日在上海新国际博览中心举行。中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(以下简称“中国科学院长春光机所”)采用“1+M+N+S”的方式,以“研究所重大科研成果展览展示+长光企业高端产品展出+双展位同期参展”的形式“盛装”亮相本届上海光博会,高水平全面展示国立科研机构的综合实力以及长光产业的蓬勃生机,敬请各位领导和嘉宾莅临展位指导。
在E5光学馆5336号展位,我所将展出大口径双工况立式干涉检测站、“天问一号”高分辨率相机、“风云三号H星”双波段广角极光成像仪、商业航天相机、七通道便携式多光谱融合式光谱仪、高性能大面积衍射光栅、多场景适应的掠入式亚纳米位移测量系统、全光谱光学参数综合测试系统、TC-1517科学级高灵敏大靶面拼接相机、两级驱动长行程高精度并联调整机构等涵盖“大”口径光学、超“精”密光学的科技成果及Light品牌期刊集群;长春长光精密仪器集团有限公司携14家长光企业展出包括新型飞行员特殊视觉功能检查仪、机械臂快速抛光设备、高精密多光谱滤光片、连续紫外激光器、晶圆相机、高精度碳化硅陶瓷复合材料、CG600主焦点望远镜系统、机载易燃易爆气体测量仪、基于先进光学技术的AI视觉检测系统、NIR机载高光谱相机、VD200多光谱模块、金属光栅角度编码器、单模VCSEL、GODAS通用光学设计分析软件等众多核心产品。
在E4光学制造馆4342号展位,围绕光学超精密制造一体化解决方案,将展示中国科学院长春光机所在光学制造领域从“光学材料-光学加工-镀膜-量检测”的整体布局,展出高精度碳化硅陶瓷复合材料、高洁净高稳定离子源、超小尺寸磁流变抛光轮、超精密磁流变抛光设备、紫外系列滤光片、探针相机等多项科技成果。
【E5.5336展位:中国科学院长春光机所科技成果展示】
(1)大口径双工况立式干涉检测站
面向高端制造前沿,立足国产元器件与关键技术,自主研发大口径双工况立式干涉检测站,实现皮米级精度计量,为大口径超精密光学元件提供坚实的“标尺”。
大口径非球面检测:检测范围覆盖平面、球面、非球面,可适配航空航天、天文望远镜等领域各类高精度光学元件,能够满足现代光学系统的检测需求;双工况立式设计:立式向上/向下双姿态快速切换,无需繁琐装夹即可实现透镜双面高精度计量,契合规模化、高效率制造场景;皮米精度计量:自研皮米级非球面光学基准,通过高稳定光路设计与算法补偿,精准识别光学元件面形误差,突破传统检具精度传递瓶颈,实现皮米级精度计量;自动检测降槛:集成多设备协同自动补偿功能,实现“一键式”检测,有效降低操作门槛,提升检测结果一致性与可靠性。
应用领域:超高精度透镜、球面、非球面形及曲率半径计量。
(2)“天问一号”高分辨率相机
我国首次火星探测任务的重要载荷,于2021年2月5日在距火星220万公里处,成功获取我国首幅火星全球影像。国家航天局2025年11月6日宣布,“天问一号”环绕器利用高分辨率相机于近日成功观测到星际天体——阿特拉斯(3I/ATLAS)。其间,“天问一号”环绕器距离目标天体约2896万公里,是目前观测该天体距离最近的探测器之一。这是我国深空探测飞行器首次实现对星际天体目标的探测和跟踪,为后续深空探测、小行星防御等任务积累了宝贵的经验,具有重要的科学及工程意义。
(3)“风云三号H星”双波段广角极光成像仪
基于“风云三号D星”广角极光成像仪基础,突破面阵单光子计数探测等关键技术,成功研制国际首台覆盖140~160nm和160~180nm两个远紫外波段的双波段极光成像仪,可在2分钟内完成5000km×5000km地球全极区快速成像。该载荷于2025年9月27日随卫星成功发射入轨,能够从太空视角全景获取远紫外双波段极光卵的形态与极光精细结构特征,有助于深化对极光卵形成机理和粒子沉降过程的科学认识,为导航、通信等系统的安全运行提供预报保障。
(4)商业航天相机
商业航天迎来“黄金时代”,中国科学院长春光机所积极助推我国商业遥感载荷技术发展,产品覆盖轻型高分辨推扫和视频相机、高分辨率详查相机、亚米级百公里宽幅相机、32通道高光谱相机、可见红外一体化相机和高分辨中波红外相机。
(5)七通道便携式多光谱融合式光谱仪
中国科学院长春光机所通过中阶梯光栅与交叉色散技术融合的方式,结合人工智能算法,成功研制出小型化、集原位拉曼光谱(Raman)、原位激光诱导击穿光谱(LIBS)与原位荧光光谱(LIF)于一体的联合探测光谱仪(Raman_LIBS_LIF)。2024年7月,搭载该技术的七通道便携式多光谱融合光谱仪顺利完成载人潜器挂载海试与结题海试,成功获取冷泉热液区的三种光谱数据。此次海试标志着我国首台多光谱融合小型化原位光谱仪研制成功,不仅推动了深海原位光谱学仪器的研发与应用,同时为后续海洋装备研制奠定了重要技术基础。
(6)高性能大面积衍射光栅
中国科学院长春光机所现具有制作最大面积为400mm×500mm刻划光栅和650mm×1700mm全息光栅的能力。研制的高精度光栅已成功应用于“天问一号”火星表面物质成分分析仪、“风云三号”太阳辐照度探测仪、“羲和号”Hα成像光谱仪,以及大口径地基天文望远镜等科学装置,并通过批量化生产广泛应用于原子光谱仪、分子光谱仪、生化分析仪、ICP光谱仪等高性能分析测试仪器。
(7)多场景适应的掠入式亚纳米位移测量系统
中国科学院长春光机所精密仪器与装备研发中心针对高端加工制造、微纳操作等特殊应用场景,成功研制掠入式亚纳米位移测量系统。该系统基于大角度掠入射光学构型与激光三角测量法,设计多模式组合测量策略,可根据实际工况兼容超高精度与大测量范围,实现目标位移的精准测量及姿态信息同步获取,分辨率高达0.5nm,为复杂工况提供超高精度位移测量方案。系统具备多项核心优势:采用非接触式测量,避免对被测表面造成损伤;通过光学抗干扰设计,保障在复杂环境光条件下稳定工作,为精密加工、先进制造等领域的原位监测与闭环控制提供了关键技术支撑。
(8)全光谱光学参数综合测试系统
中国科学院长春光机所质检中心(国家光学机械质量检验检测中心)自主研制全光谱光学参数综合测试系统,能够实现MTF、焦距、畸变等光学参数的高精度测试,其中MTF测试重复性优于±0.02,技术指标与国际知名产品相当。该系统具有自主可控、测试高效、支持定制、维保便捷等优点。目前,设备已成功应用于光学领域科研院所、龙头企业等多家单位,运行状态良好。
(9)TC-1517科学级高灵敏大靶面拼接相机
中国科学院长春光机所光电探测技术研究部自主研发国内首款基于窄边4K分辨率的sCMOS拼接相机。该相机选用长光辰芯公司GSENSE1517BSI图像传感器,整体可实现4×4拼接,分辨率达到16K×16K,最低可实现-100℃的焦面制冷温度,真空保持能力可达 10-5Pa,拼接后的平面度可实现亚像素级,响应波段覆盖软X射线到近红外的宽波段,可用于多谱段天文学研究、弱光天体探测和大视场大口径望远镜观测等领域。
(10)两级驱动长行程高精度并联调整机构
面向超大口径光学及半导体装备领域,突破粗精两级驱动关键技术,研发出一种兼具长行程与纳米级分辨率的高精度并联调整机构,构建了多维高刚度柔性铰链的设计、加工及整机装调流程,提出并实现了基于柔性铰链的多运动学参数迭代控制策略,解决了多参数多维高精度位姿测量及运动学参数标定补偿难题。研制出多种负载能力、不同运动行程的并联调整机构系列产品,可实现动态运动轨迹跟踪与多模式位姿切换,适用于真空、冷黑等极端工况环境。运动行程指标达到±10mm/±2°,分辨率达到1nm/0.005",整体技术指标达到国内领先水平,能够满足高负载、长行程及纳米级精度的工程应用需求。
(1)新型飞行员特殊视觉功能检查仪(TSJ-II)
依托光机电一体化制造优势,深入医疗健康领域,开发出多款国防、民品两用诊疗及生物检测仪器,多种仪器获得军内技术进步奖,并有望推向民品市场,前景广阔。飞行员特殊视觉功能检查仪应用光学技术、精密机械技术、计算机技术和视觉生理理论集成为一体,具备远视力、近视力、对比敏感性、色觉、隐斜视、立体视觉、暗适应七项眼科检查功能。
应用领域:主要应用于飞行员、航海员的眼科检查或体检选拔,也可应用于常规医院检查。目前TSJ-I飞行员特殊视觉功能检查仪共计销售400余套,配备于多家空军医院、空军疗养院、空军训练中心等。
(2)机械臂快速抛光设备
机械臂快抛设备是精密制造领域的高效抛光解决方案。它以多轴联动机械臂为执行核心,搭载智能数控系统,配备高精度旋转转台与磨料自动循环装置,大幅提升加工效率与范围,同时支持快抛头多种口径高精度定位更换,实现全流程作业。设备可高效加工50-400mm口径的球面、非球面及自由曲面工件,配合高精度检测设备,实现高精度与加工一致性,保证微米级精度的同时,将抛光效率提升数倍。
应用领域:高精度镜头元件、高能激光元件、相位板、航空航天领域光学元件等。
(3)高精密多光谱滤光片
空间光学镀膜系列产品,包括高精密多光谱滤光片、高精度光学反射镜、大口径反射镜、高精密干涉滤光片、高性能光学激光滤光片、高精密紫外滤光片、高精密带通滤光片、生物医疗滤光片、仪器专用滤光片等。其中多光谱滤光片国内市场占有率达到80%以上,处于国内领先地位。
应用领域:航空航天、国防领域、半导体、生命科学、工业及教育科研等。
(4)连续紫外激光器
采用全固态激光频率变换技术,波长覆盖193-400nm,可提供多种典型波长输出:248nm@50mW、261nm@1.5W、266nm@1.5W、269nm@300mW、273nm@400mW、303nm@500mW、313nm@2.5W、320nm@4W、335nm@1.2W、349nm@4W、355nm@5W、360nm@4W、365nm@1.2W、375nm@20W。产品具备功率稳定性<0.5%、光束质量M²<1.1、低噪声、长寿命等优势,可满足7×24小时连续稳定工作,同时支持自由空间输出与光纤耦合输出。
应用领域:半导体检测、紫外光刻、微纳加工、拉曼光谱、荧光激发、材料分析、表面成像、生物医疗及科研实验等。
(5)晶圆相机
国产全自动探针台专用晶圆相机,是半导体晶圆级测试视觉系统的核心成像部件,面向国产高端晶圆探针台对视觉定位系统不断提升的性能需求,自主研发专为4-12英寸晶圆全自动上料、全局定位、缺陷预检、晶圆Map生成与芯片Pad粗对位设计,全面适配国产全自动探针台的高速自动化与高精度定位需求,支撑芯片测试全流程自主可控,实现半导体领域检测设备国产化替代。
应用领域:半导体在线检测、国产全自动探针台等。
(6)高精度碳化硅陶瓷复合材料
采用凝胶注模成型与致密化反应烧结相结合技术制造碳化硅精密陶瓷,具有比刚度高、热稳定性好、光学加工性能优等特点,是目前光学系统用最佳反射镜材料之一。产品不仅广泛应用于各类先进光学系统,在半导体制造、精密仪器、高速轨道交通、新能源汽车等领域也有良好应用前景。
应用领域:半导体制造、精密仪器、高速轨道交通、新能源汽车等。
(7)CG600主焦点望远镜系统
应用领域:该产品因具有大视场的特点,适用于空间碎片以及卫星、近地小行星的搜索。
(8)机载易燃易爆气体测量仪GS-2110Q-J
依托离轴积分腔增强输出光谱技术(OA-ICOS),融合人工智能算法,研制出高精度、高灵敏度、小型化的机载易燃易爆气体测量仪。该仪器可搭载于无人机,结合云端系统实现机载、云台式和手持式三类检测设备的功能性联动,构建全方位、全流程、无人化精准监测系统,有效破解石油石化厂区监测盲区与效率瓶颈,提高易燃易爆气体污染排查管控效能,为“空地协同+污染治理”体系建设提供技术支撑。
应用领域:能源工业、农业、畜牧业、应急救援等。
(9)基于先进光学技术的AI视觉检测系统
该系统深度融合中国科学院长春光机所先进光学照明与成像技术,可有效消除环境光干扰,凸显细微特征。采用多节点式小样本量AI算法,即使在数据有限的情况下,通过迁移学习、数据增强等技术,也能实现高效学习和精准识别,能够快速适应新产品、新场景,大幅缩短模型训练周期,精准识别各类缺陷,并实时输出检测结果,有效提升生产效率和产品质量。
应用领域:汽车零部件、电子元器件、医药包装等行业的缺陷检测、尺寸测量、目标识别。
(10)NIR机载高光谱相机
HSP0917系列高光谱相机,采用国产反射型闪耀光栅分光,能够连续获取900-1700nm范围内目标的光谱数据,光谱采样间隔0.6nm,典型光谱分辨率5nm,量化位数12bit,标配15/12/8.5mm焦距(三选一)宽波段、像方远心镜头。标准接口、一机多用,兼容市面上大部分第三方无人机平台,与大疆X-Port云台快速拆装,兼容大疆M400/M350 RTK无人机。
应用领域:作物水分胁迫反演、矿物填图、伪装目标识别、土壤重金属含量反演等。
(11)VD200多光谱模块(适配大疆机场3)
5波段VD200多光谱模块有效像素1200万,原始分辨率2.6cm@120m,采用大视场角、长焦距的光学设计,保证视场内多目标精准探测。系统可对多光谱模块的定位状态、存储状态、核心温度等关键信息进行可视化展示,数据采集完成后支持无线稳定传输。同时提供互联网部署与私有化部署两种模式,既满足轻量化快速落地需求,又兼顾高安全性与自主可控要求。
应用领域:作物全生长周期监测、水环境调查、景观生态调查、城市绿化评估等。
(12)金属光栅角度编码器
以图像摄取及处理技术为核心,采用信号超分辨力解码方法来实现高精度、小型化角度传感测量。具有大空心轴、质量轻、转动惯量小、高精度、高分辨力、高重复性、抗冲击振动、抗低压、稳定性高等特点,适用于真空环境。
温度:-40°C~+70°C
精度:±1"~±5"范围内
尺寸:可定制直径φ52mm-φ550mm
产品器件均可实现100%国产化
应用领域:航空航天、高端数控机床、机器人、半导体、精密测量仪器、自动化及特殊领域。
(13)单模VCSEL
单模VCSEL产品具有高纯的激光光谱与毫瓦级的低功耗,激光波长覆盖700nm-1000nm,本产品可提供定制化的芯片与模块产品服务。
应用领域:气体传感、距离感知、通信、量子探测等。
(14)GODAS通用光学设计分析软件
包含成像光学设计分析软件、杂散辐射分析软件和集成化平台三个子项目。对标ZEMAX、CODE V、LightTools等国际主流软件,核心功能实现全覆盖。
成像光学设计分析软件可提供20种以上成像质量性能分析评价功能和20项以上光学系统公差分析功能,与CODE V相比,光线追迹位置偏差小于±1nm,主要像质评价指标偏差小于5%。
杂散辐射分析软件具备三维实体建模、大规模光线追迹、多表面属性复合等功能,与Light Tools杂散辐射分析功能相比,光线追迹评价像面照度偏差小于5%。
应用领域:半导体、消费电子、汽车照明、航空航天、医疗器械与精密仪器等。
(1)材料:高精度碳化硅陶瓷复合材料
采用凝胶注模成型与致密化反应烧结相结合技术制造碳化硅精密陶瓷,具有比刚度高、热稳定性好、光学加工性能优等特点,是目前光学系统用最佳反射镜材料之一。产品不仅广泛应用于各类先进光学系统,在半导体制造、精密仪器、高速轨道交通、新能源汽车等领域也有良好应用前景。
应用领域:半导体制造、精密仪器、高速轨道交通、新能源汽车等。
(2)加工:高洁净高稳定离子源
针对皮米级精度离子束加工需求,开发了高洁净高稳定性离子源。该离子源具备超高材料去除分辨率,可实现亚纳米级精准材料去除;采用零溅射污染设计,确保加工过程中镜面无外来原子沉积;100小时连续运行束流稳定性优于98%,保障多轮迭代修形的精度传递可靠性。支持毫米级细束径至100mm宽束径全参数连续可控,兼顾局部精修与全口径高效修形。
应用领域:超精密光学制造、高精度离子束刻蚀、空间光学及高功率激光光学等。
(3)加工:超小尺寸磁流变抛光轮
基于磁流变抛光技术,将磁流变抛光轮由工业标准化向小型化推进,旨在解决复杂曲面光学元件跨尺度皮米量级超精密抛光难题。超小磁流变抛光轮凭借其小尺寸去除函数及柔性可控抛光特性,能够实现面形误差高效率收敛,是高端光学制造领域关键工具。
(4)加工:超精密磁流变抛光设备
磁流变抛光设备可实现面形精度RMS优于2nm(极限面形精度RMS可达0.5nm),表面粗糙度Rq优于0.5nm,去除函数稳定性优于90%,配备多种抛光轮并支持快速换装,加工效率优异。
机床式磁流变抛光平台具备高稳定性与超高加工精度,可适配口径50~400mm的多种型号抛光轮,兼容不同材质适用的磁流变液,支持多样化装夹方式。设备集成自动对刀功能与专用加工算法,人机交互界面简洁直观,搭载智能化监测与预警系统,并实现与五轴联动模式的高度融合,可满足各类光学元件的高精度加工需求。
应用领域:高精度镜头元件、高能激光元件、相位板、航空航天领域光学元件等。
(5)镀膜:紫外系列滤光片
日盲紫外深截止滤光片应用于在太阳光强照射下对于紫外弱信号的探测。该滤光片具有良好的性能,在通带具有高透过率,在通带带外波段范围具有足够深的截止深度,同时满足最大工作入射角的要求。
应用领域:电力线路电晕检测、高压设备电晕放电检测、森林防火检测、大气环境研究、遥感检测设备、紫外成像告警等。
(6)量检测:探针相机
国产全自动探针台专用探针相机,是探针台微观对位的核心精密成像部件,专注探针针尖与芯片Pad微区对准、针形检测、接触力监控、扎针过程实时观测,为微米级扎针精度提供微观视觉保障,全面匹配国产全自动探针台的高精密测试需求。研发过程中充分考虑高分辨、大NA系统所涉及的大相对孔径元件制造和系统装配难度,以提升产品化制造与集成效率提升我国自研晶圆探针台整机性能,实现半导体领域检测设备国产化替代。
应用领域:半导体在线检测、国产全自动探针台等。
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