2026年3月25日,SEMICON China 2026(上海国际半导体展)在上海新国际博览中心隆重举行,会期三天。中国科学院长春光机所首次亮相该展会,另有2家长光企业以独立参展的形式参加本次展会。中国科学院长春光机所副所长李耀彬,副所长、党委副书记孙守红以及科研、管理与支撑部门领导莅临展会现场。
在N1馆1427号展位,中国科学院长春光机所聚焦半导体核心装备领域,围绕半导体材料-加工-镀膜-量检测,展出了高精度长程碳化硅气浮导轨、高洁净高稳定离子源、超小尺寸磁流变抛光轮、超精密磁流变抛光设备、紫外系列镀膜产品、晶圆/探针相机、高精度深紫外暗场检测物镜、GODAS通用光学设计分析软件等多项前沿科技成果,受到了业内的广泛关注,成为了半导体产业细分领域专业观众的焦点,吸引了国内外众多专家、学者、企业家慕名而来交流探讨,有效地提升了我所在半导体领域的行业影响力。
本次展会,我所与海内外百余家半导体设备制造商、晶圆厂及投资机构建立了沟通渠道,意向合同金额超千万元。在实现长光品牌形象快速“破圈”的同时,通过精准切入半导体核心装备国产化替代的关键环节,推动了核心技术与产品的大范围对接,为后续深入半导体产业供应链体系、加速国产半导体装备自主化进程奠定了良好基础。
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