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半导体晶圆退火工艺“稳”字当头 看万可贝斯系列电源如何实现精准供电

半导体晶圆退火工艺“稳”字当头  看万可贝斯系列电源如何实现精准供电 WAGO万可
2025-06-13
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导读:万可凭借高可靠性的电源系统、大电流轨装式接线端子及智能电能管理解决方案





晶圆是半导体制造过程中的核心基础材料,芯片的各种电路和元件都要在晶圆上进行加工和制造。随着半导体器件的不断升级和市场需求的增加,晶圆的制造环节对快速退火系统的要求也越来越高,因为该技术对晶圆良品率和性能一致性至关重要。万可高效可靠的电源系统可为该设备的稳定运行提供安全保障。





晶圆制造工艺是一个复杂且精密的过程,涉及到多种物理、化学和工程技术。它包括晶圆清洁、光刻、蚀刻、离子注入、金属化、退火和测试等一系列主要步骤。这些工艺步骤相互关联、相互影响,共同决定了半导体芯片的性能和质量。

其中,晶圆快速退火系统包含加热、冷却等多个环节,需要稳定的电力供应来维持各部件的正常运转。若电源不稳定,电压波动过大,可能导致加热不均匀、冷却速度异常等问题,使材料特性不一致,影响退火效果。

多年来,万可凭借丰富的电源产品、DC/DC转换器、不停电电源(UPS)、电子断路器以及冗余模块等,可轻松构建可靠高效的电源系统解决方案,多种全球有效认证,几乎可以用于各行各业。

在某知名半导体设备生产商制造的晶圆快速退火系统中就采用了万可贝斯系列电源(2587系列),电源采用久经行业考验的直插型笼式弹簧连接技术(Push-in CAGE CLAMP®),可在运行过程中提供稳定供电重要功能,并兼具成本效益。



无论是常规应用还是有更高功率需求的自动化应用,万可贝斯系列电源始终能为用户提供恒定电压、经济高效、坚稳耐用等需求,为多行业设备供电提供安全保障。

万可贝斯系列电源(2587系列)是一款高性价比的导轨型电源,其设计紧凑、节省控制柜空间,便于安装。新产品按照输出电流可分为5A、10A、20A三种型号,可将交流220V转换为直流24V。

优势一览

1

转换效率88%以上,可节省能源成本、降低功率损耗

2

面板设置二维码,可一键获取产品信息

3

正面笼式弹簧连接技术,接线方便,适用于振动应用场合

4

满足-30℃~+70℃宽温长期运行,冷启动温度低至-40℃

5

平均故障间隔时间>1,000,000小时且组件使用寿命更长

除万可贝斯系列电源(2587系列)外,万可还为该知名半导体设备生产商,提供了适于严苛环境的大电流轨装式接线端子和用于全面能源消耗测量的MID电能表。




万可具备良好夹持力的大电流轨装式接线端子,适于连接截面积高达185mm2的导线,可提供35、50、95和185mm2类型,产品可通过固定耳安装到DIN导轨或直接固定到安装板上。

产品优势

1

应用广泛:能源密集型工业,包括机械工业、设备制造业与发电业

2

同样适于严苛环境应用——耐高温,耐严寒

3

ExeII认证 (185mm2/350kcmil,申请中)

4

操作便利——侧面接线和插锁,方便布线

5

快速接线:无需耗时对导线进行预处理,也无需接线针或冷压接头

在双碳目标下,全面的能源测量对于企业优化能耗、实现可持续发展目标必不可少。万可879系列电能表,具备多重优势,简化电能监测任务:

符合MID指令2014/32/EU,适于能耗计费的应用

M-Bus和Modbus RTU接口以及两个S0脉冲输出

直插型笼式弹簧连接技术(Push-in CAGE CLAMP®)和操作杆可节省每个阶段的时间

节约空间,2DU:35mm(2PUCT);4DU:72mm(4PU和4PS)

支持多种格式的明亮显示屏,提供出色的透明性

直观配置,通过Bluetooth®进行触摸感应控制和配置应用

万可凭借高可靠性的电源系统、大电流轨装式接线端子及智能电能管理解决方案,为半导体制造等高精尖行业提供了强有力的技术支撑。在追求高效、低碳的全球趋势下,万可将持续以创新产品助力半导体设备商提升良率与能效,共塑智能未来。

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万可集团于1951年在德国明登成立,是电气连接、自动化和工业接口产品及解决方案的国际领先供应商,是笼式弹簧夹持技术世界首创者。万可电子(天津)有限公司是万可集团独资子公司,下设16家分公司及办事处,为国内上万家客户提供人性化和高效快捷服务。
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WAGO万可 万可集团于1951年在德国明登成立,是电气连接、自动化和工业接口产品及解决方案的国际领先供应商,是笼式弹簧夹持技术世界首创者。万可电子(天津)有限公司是万可集团独资子公司,下设16家分公司及办事处,为国内上万家客户提供人性化和高效快捷服务。
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