要闻 | 安徽军工集团国家重点研发计划“硅基”项目顺利通过中期评估

2022年12月13日，国家工信部产业发展促进中心组织相关专家，对集团公司牵头的国家重点研发计划“硅基气体敏感薄膜兼容制造关键技术及应用验证””项目开展了中期评估。集团公司党委副书记、总经理高申保出席会议并致辞，集团公司副总经理张胜，科技质量部、芯核防务和项目研发团队参加了中期评估。

该项目由安徽军工集团牵头，联合国内10余家知名高校和研究院所共同承担项目研制。项目涉及多项传感器关键共性技术，属国家“卡脖子”技术，预期科学价值高、应用前景广阔。此次中期评估意义重大，如未获支持则项目终止。

与会领导、专家认真听取了项目中期执行情况汇报，查阅了第三方检测报告、用户使用报告、应用证明以及论文、专利、软著、标准等研制成果证明材料，并进行了质询。

经专家组综合评议，认为项目突破了高性能纳米气敏薄膜晶圆级机械化均匀成膜等关键技术，实现了基于4英寸晶圆的传感器阵列流片制造，开发出针对硫化氢、氢气和甲醛的传感器芯片和监测装置，实现了应用验证，取得了一系列阶段性成果。项目执行进度符合任务书要求，完成了预定任务，达到了预期目标。最终项目获得了全票支持，得到89分的好成绩，顺利转入下一阶段研制。