尼康的专有技术确保了超薄100μm晶圆片的可靠加载
(适用于下一代半导体的高可靠性加载)
尼康卓越的专有技术使NWL200系列成为第一批能够加载100 μm薄晶圆的检测显微镜晶圆加载机。通过SEMI S2/S8认证的NWL200系列可以加载薄至100 μm的超薄晶圆。这种高水平的安全性和可靠性满足最新晶圆片的所有检查要求。
改善了的晶圆传感功能
由于薄晶圆在载体中会发生明显的变形，如果位置传感器不准确，臂可能会损坏它们。在过去，传感器很难准确读取晶圆的失真，但通过优化晶圆传感器束的布置，NWL200系列可以准确检测盒中薄晶圆的形状。此外，当晶圆片被放置在显微镜载物台上时，缺口和方向可以调整90°。
高流通量
非接触式定心机构使快速、准确地对齐成为可能。多臂系统还可以完全精确地加载和卸载晶圆，提高转移和晶圆交换的整体效率。这大大减少了周期时间，实现了高水平的流通量。
高可靠性
如果出现错误，则在LCD面板上显示错误信息。即使在电源关闭的情况下，宏观检测机构的真空吸盘仍保持工作状态。如果出现问题，装入器上的晶圆可以返回到载体上，而无需使用镊子。
优雅的人体工学设计
为了确保在一个自然的姿势操作，人体工程学的效率设计到系统的每一个方面。操作按键和旋钮都位于操作人员触手可及的范围内，因此操作只需要最少的手或眼的移动。晶圆托架位于操作者的前方和左侧35º处，便于装载托架和直观地检查托架内的晶圆。
为一系列应用程序混合和匹配选项
• 外部通信功能
NWL200具有外部通信功能，可以与主机连接，构成网络。该系统可通过RS-232C链路在线传输检测结果数据，并可远程操作。
• 综合能力
该系统结合了Digital Sight系列显微镜数码相机和NIS-Elements成像软件，提供了全面的多维图像捕获、测量和分析能力。
