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尼康 I FPD/LSI 检查显微镜 L300N-L200N-系列

尼康  I FPD/LSI  检查显微镜 L300N-L200N-系列 天津昀恺科技有限公司
2025-04-15
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导读:NIKON FPD/LSI  检查显微镜 L300N-L200N-系列主要应用领域在电子通讯领域的零部件检查,如硅片、液晶显示屏、金相检测等。

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NIKON FPD/LSI 检查显微镜 L300N-L200N-系列主要应用电子通讯领域的零部件检查,如硅片、液晶显示屏、金相检测等。

增强的观察性能和操作

反射荧光观察方式拓宽了检查范围—包括 365 纳米 UV 激发

🔹在检查半导体抗蚀剂残留物和有机电致发光显示器时非常有用。

🔹各种观察方法,如明场、暗场、简单偏光和 DIC 在所有型号上都是可能的。

🔹L300ND/L200ND 的透射照明能力通过透明基板增加了照明。

🔹仅L300N/L300ND/L200ND


易于操作的正面操作

• 最大限度地减少长时间观察期间的疲劳



目标更容易聚焦

• 在光路中插入聚焦目标,轻松聚焦低对比度样品,例如裸晶圆。




1


                  L200N

用于ø200 mm 晶圆/反射照明型



2


                    L200ND

用于ø200 mm 晶圆/反射和透射照明型


更强大的污染防护

 机身、载物台、目镜筒等各种控制器的防静电涂

• 防止损坏样品并有助于提高产量


在最佳视点水平观察

• 超宽 25 毫米视野和 0° 至 30° 之间的目镜角度调节


• 操作员可以调整视点水平以确保舒适的观看位置。


固定位置 X-Y 

精细运动控制

• 允许轻松进行载物台移动和聚焦。

照明

《LED》

紧凑型 LED 照明器节能且使用寿命长。


聚光灯

• 用于落射荧光观察的电动水银预居中光纤照明器,具有可变光强度和快门控制,提供出色的灵活性。

不需要灯中心和焦点调整。

*仅限L300N/L300ND/L200ND

过滤块

用于落射荧光观察

• EPI-FL UV-2A

• EPI-FL B-2A

• EPI-FL V-2A

• EPI-FL G-2A

• EPI-FL BV-2A

*仅限L300N/L300ND/L200ND. 只能连接一个立方体。


晶圆装载机NWL200


•结合NWL200 晶圆装载机,ECLIPSE L200N可满足晶圆检测的要求。


支持超薄 100 μm 晶圆

•NWL200 系列提供的安全性和可靠性满足最新的所有要求。


提高可操作性和高生产量

•使用大型 LCD 面板可以轻松设置采样和检查莫式等条件以及检查操作状态和错误内容。


•载体和样品的综合文件管理功能对于自动化检查很有用。


•极快的升降机,以及多臂系统以完全精确的方式装载和卸载晶圆,都有助于高效的品圆转移和交换。



相机软件

数码相机

DS-Fi3

以前型号的三个主要特点,高分辨率、高灵敏度和低噪音,以及高速实时显示在 1 个相机中提供。


DS-Ri2

这款显微镜数码相机能够按原样表达图像,提供高分辨率、色彩再现和帧速率。


成像软件


只需在平板电脑上安装 NIS-Elements L 即可设置和控制 DS-Fi3/DS-Ri2 显微镜相机、实时图像显示和图像采集。


NIS-Elements L 可以通过输入线条和注释对图像进行简单测量。这些也可以写入图像并与图像一起保存,并且可以输出测量数据。



可以选择十种相机设置模式,以针对每种显微镜光源、观察方法和样品类型以及自定义设置,实现最佳色彩再现和对比度。


EDF (扩展的焦深)

从不同焦点的图像创建单个全焦点图像。


配件

1

物镜

只需一个镜头即可实现明场、暗场、简单偏振、敏感偏振、微分干涉和落射荧光观察。 实现卓越的色差性能和长工作距离,适用于所有放大倍率,以适应任何应用。


使用相位菲涅耳透镜,这些物镜可实现长工作距离,同时提供比传统物镜更高水平的色差校正。 这提高了不同高度样品的可操作性。


通过使用相位菲涅耳透镜,这些物镜实现了显著更长的工作距离,同时保持了复消色差透镜的卓越色差性能。





【声明】内容源于网络
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天津昀恺科技有限公司
天津昀恺科技有限公司是一家专注于光学领域的高新技术企业,致力于光学成像,光电产品的研发,为客户提供专业的光学系统解决方案,多年来与行业内顶尖的国内外光学公司建立了战略合作。公司以诚信,专业,服务,创新为宗旨,用科技之光点亮世界,造福人类。
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