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实现高效率实验的实用功能
LEXT OLS5100激光扫描显微镜将卓越的准确度和光学性能与智能工具相结合,使系统变得易于使用。其能够快速高效完成亚微米级形貌和表面粗糙度的精确测量任务,不仅简化了工作流程,还能提供值得信赖的高质量数据。
1
简化测量检测工作流程
LEXT OLS5100显微镜的智能实验管理器(SmartExperiment Manager)*可自动执行耗时的任务,从而有助于简化实验工作流程。
》利用宏功能实现分析工作流程的自动化。
》测量数据易于整理。
》将数据自动填充到实验计划矩阵中，减少了输入错误的几率。
》测量结果以列表形式显示,让您一目了然地做出通过/不通过判断。
*需要实验流辅助应用程序OLS51-S-ETA。
2
值得信赖的数据
LEXT物镜提供高度准确的数据,可保证显微镜的测量准度确度。与Smart LensAdvisor(智能镜头顾问)配合使用,可以获得值得信赖的高度准确的数据。
》专用的LEXT光学透镜针对405纳米波长的光进行了优化，以减少像差,从而可在整个视场中捕捉到样品的真实形貌。
》Smart Lens Advisor(智能镜头顾问) 有助于为粗糙度测量选择合适的物镜。
3
只需按一下按钮,即可获得可靠的数据
通过精心设计的软件,新手和有经验的用户都可以轻松使用显微镜。
》轻松获取准确数据:将样品放在载物台上，然后按下“开始”按钮即可。
》在客户的实验环境下也能提供有保证的测试结果。
*快速数据排序按钮仅适用于智能实验管理器。
激光显微镜的优势
No.1
亚微米3D观察/测量
观察纳米范围内的台阶,测量亚微米级的高度差。
No.2
符合ISO25178标准的表面粗糙度测量
可测量从线到面的表面粗糙度。
No.3
快速、非接触、无损坏
无需制备样品-只需将样品放在载物台上即可测量。
LEXT OLS5100显微镜配备两个光学系统(彩色成像和激光共聚焦)，可以获取颜色和形貌信息，以及高清图像。
彩色光学元件
彩色成像光学元件通过白光LED光源和CMOS图像传感器获取信息。
三维形貌信息和高清图像
激光共聚焦光学元件采用405纳米激光二极管光源和
高灵敏度光电倍增管获得共聚焦图像。浅焦深使其能够测量样品的表面不规则性。
405纳米激光光源
与使用可见光(峰值为550纳米)的传统显微镜相比,使用短波长激光的激光显微镜具有更好的横向分辨率。OLS5100显微镜的405纳米激光光源可提供卓越的横向分辨率。
激光共聚焦光学元件
激光共聚焦光学系统只接收通过圆形针孔聚焦的光线,而不会捕获样品反射和散射的所有光线。这有助于消除模糊,从而获得比普通显微镜对比度更高的图像。
X-Y扫描器
显微镜光学扫描振镜的X轴采用电磁感应MEMS扫描振镜,Y轴采用Galvano扫描振镜,XY扫描振镜定位于相对物镜光瞳共轭的位置。
其结果是可以实现具有较低扫描轨迹失真和较小光学像差的精确X-Y扫描。
高度测量原理
为了测量高度,显微镜通过自动移动焦点位置来获取多幅共聚焦图像。系统根据离散的焦点位置(2)和探测到的光强度(),估算出每个像素的光强度变化曲线(-Z曲线),并获得其峰值位置和峰值光强。由于所有像素的峰值位置都对应于样品表面的不规则性,因此它提供了样品表面的3D形貌信息。通过峰值强度数据可以获得样品表面所有位置均对焦的图像(扩展图像)。
4K扫描技术
显微镜可在X轴方向扫描4096个像素,这是传统机型的四倍。4K扫描提高了在高度方向上测量的可靠性,改善了分辨率,信噪比提升了两倍。显微镜可以探测到近乎垂直的斜坡以及非常低的台阶，而无需进行图像校正。
双重共聚焦系统
显微镜采用不同针孔直径的两个共焦光学通道。可以根据镜头类型和数据采集模式选择适合的通道,从而可获得可靠的数据。
Sq噪声(测量噪声)保证
Sq噪声是测量工具高度检测分辨率的量化指标。OLS5100显微镇确保测量符合IS025178-700标准。使用MPLAPON 100XLEXT物镜时,测量噪声为1 nmt。
智能判定功能
传统的激光显微镜使用平滑等图像处理技术来消除噪声,但细微的高度不规则数据可能会与噪声一起被过滤掉,从而降低了数据的准确性。OLS5100显微镜的智能判定(Smart Judge)算法可以自动探测到可靠的数据，在不丢失细微高度不规则数据的情况下进行准确测量。
