超声波扫描显微镜

      超声波扫描显微镜是一种非破坏性的检测组件的完整性，内部结构和材料的内部情况的仪器，作为无损检测分析中的一种，它可以实现在不破坏物料电气性能和保持结构完整性的前提下对物料进行检测。

       声学扫描显微镜是一种非破坏性的检测组件的完整性，内部结构和材料的内部情况的仪器，作为无损检测分析中的一种，它可以实现在不破坏物料电气能和保持结构完整性的前提下对物料进行检测。被广泛的应用在物料检测（IQC）、失效分析（FA）、质量控制(QC)、质量保证及可靠性(QA/REL)、研发(R&D)等领域。

      其可以检查到:１.材料内部的晶格结构，杂质颗粒．夹杂物．沉淀物．2. 内部裂纹. 3.分层缺陷.4.空洞,气泡,空隙等。 在一个较小尺寸的范围内，超声波会由于材料的物理特性发生相互作用。一旦材料的特性发生变化，样品内部的超声波就会被吸收、散射和反射。因为超声波无法很好通过空气进行传播，所以样品内的微小缝隙会被很容易地检测到。利用超声波的这种特性，可以把半导体材料内部的诸如分层，裂缝等的缺陷和不透光材料中的空 隙等缺陷，成像在高分辨率的图像上，给材料的可靠性分析带来方便。

 Sonoscan C-SAM D9650是一种新型AMI标准仪器，可以提供出众的精确度和稳定性，适合破损分析、工艺开发以及材料分析与表征。

扫描频率最高可以达到２Ｇ,扫描分辨率0.5微米.最小扫描范围为0.25mm*0.25mm。

超声波探头频率：5M到400M。

超声波扫描模式：A-Scan(某点扫描)、B-Scan(块扫描)、C-Scan(层扫描)、Multi-Scan(多层扫描)、Q-BAM(虚拟横截面)、T-Scan (穿透式扫描)、3-V(3维图像)、Tray-Scan(盘扫描)。

 最大扫描范围：320X320毫米。

 最大分辨率：16384X16384。

 选择的声波宽度：0.25纳秒到1微秒。

带有Multi-GateTM 及Probing-GateTM 功能的PolyGateTM 技术可以进行单一及多层自动聚焦成像每频道多达100 个Gates。

Windows 10® Sonolytics 2TM 界面，64 字节处理能力线性马达扫描仪可扫描 JEDEC托盘。

带有塔式安装扫描参考平台及样品定位架，更加精准。

方便使用扫描区域使安装、拆卸更加方便，可以扫描 JEDEC托盘或300mm 晶圆片。

定量的B-Scan 是Sonoscan 独有的分析模式(Q-BAM) B-Scan 模式提供了虚拟横截面视图，并带有准确的极性、幅值和深度数据。