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影像测量仪VMZ-S 系列

影像测量仪VMZ-S 系列 天津昀恺科技有限公司
2026-04-28
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导读:尼康影像测量仪可实现高速、高精度的几何尺寸测量。NEXIV系列尼康影像测量仪凭借其优异的性能,可充分应对严苛的品质管理需求和高效率测量需求,在全球多个领域获得了广泛的好评。NEXIV VMZ-S系列可

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尼康影像测量仪可实现高速、高精度的几何尺寸测量。

历经数十载,NEXIV系列尼康影像测量仪凭借其优异的性能,可充分应对严苛的品质管理需求和高效率测量需求,在全球多个领域获得了广泛的好评。

NEXIV VMZ-S系列可满足半导体器件、精密电子元器件、精密机械零件等各种产品的高精度尺寸的快速准确测量。

丰富的可选配置,更加增强了NEXIV VMZ-S系列的适用范围和测量性能。




高精度/高速度/微米级公差管控

测量效率大幅提高

利用高性能全数控影像测量仪进行程序自动测量,可一次性测量很多样品。

消除手动测量中的人为误差

自动测量不受人员影响,不存在人员瞄准误差,数据记录可靠。


产品阵容中有3种XY行程不同的机型

可根据样品大小、现场运用、安装环境选择最合适的机型。

No.1

VMZ-S3020


标准行程(300×200×200 mm)

从机械零件、模具零件到高密度印刷电路板,可满足各种各样的测量需求。

应用领域

  • 1-3型: 连接器、半导体封装、小型电路板、小型冲压钣金件、引线框架、钟表零件等。

  • 4型/TZ型: 高密度电路板、引线框、半导体封装、MEMS零件、探针卡等。

  • A型: 模具、钣金件、橡胶成型零件、机械零件、钟表零件等。

No.2

VMZ-S4540


中行程(450×400×200 mm)

最适合用于各种模具零件、中型显示屏、PCB。

也可用于有一些高度的机械零件测量,以及使用工装夹具定位的零件测量。

应用领域

1-3型: 中型电路板、冲压件等。

4型/TZ型: 300 mm晶圆、探针卡等。

A型: 中型机械零件、模具零件等。

No.3

VMZ-S6555


大行程(650×550×200 mm)

大行程机型适合测量大型样品。

可在多个小零件排列摆放的自动测量、印刷电路板的精密测量时发挥威力。

应用领域

1-3型: 大型电路板、大型模具零件等。

4型/TZ型: 大型高密度电路板等。

A型: 大型冲压件、大型模具零件等。

快速进行高精度尺寸测量

凭借光学系统厂商尼康独有的专业光学系统,以及为满足制造行业追求高质量产品的需求,经多年积累而成的高级硬件设计和控制技术,可快速获得准确且稳定的测量结果。

01

实现高精度、高效率尺寸测量的专业光学系统

高分辨率和长工作距离兼备

通过专门设计的高NA镜头,对需要高倍率测量的微细样品也可获得清晰明亮的影像。

同时,确保了较长的工作距离,因此可以测量高低差有很大差异的各种样品。

02

提高尺寸测量效率的高倍变焦光学系统

无需切换物镜,即可实现15倍光学变焦(1型-4型变焦头)。使用低倍大视场,更容易确认测量位置,可顺利编程。

5档变焦(但TZ型有8档),测量途中改变倍率,也无需进行倍率校准。在保持高测量精度的状态下,可以高速进行倍率切换,从而实现高效编程和尺寸测量。

03

出色的视场内精度

为NEXIV专门设计的消畸变物镜,可以确保在视场内任何位置的二维尺寸检测都是准确的。

04

内置式高速、高精度TTL (Through The lens) 激光AF

TTL激光AF为标准配置,光斑直径为微米级,可实现Z方向较高的测量再现性(2 σ < 0.5 μm)。

即使采用低倍率观察时,也能清晰地检测出高

低不平的狭窄部分,可不受表面形状的限制高

速自动对焦。

最高采样速率高达1000点/秒的TTL激光AF,可

以快速扫描高度方向的截面轮廓。扫描获得的

数据可以导入轮廓评定软件,进行轮廓分析。

05

多功能影像AF

依据表面纹理或黑白对比度进行影像AF。影像AF既可以对准轮廓边界,也可以对准样品的上表面。不同模式的影像AF具有不同的功能,其中表面AF用于高度或深度的测量,对比度AF用于边界采样前的边界对准、对清。

06

适于高速、高精度测量的稳固可靠的整体结构设计

🔷实现高精度且稳定测量的整体结构设计

主体结构和测量载物台的导轨采用了热膨胀系数相近的材料,即使环境温度发生变化也能抑制导轨变形,将对精度变化的影响控制在最小限度。

🔷测长系采用尼康自行研发的高分辨率光栅尺

测量仪各轴均装有尼康自行研发的分辨率为0.01 μm的光栅尺,用于各轴坐标位置的精准

检出,确保测量精度。

🔷进一步缩短测量时间

测量路径的进一步优化,缩短了总的移动距离,使VMZ-S系列获得了比以往更快的测量速度。

这点对需要做跨视场测量,测量载物台必须做大量移动的测量任务尤为有利。


对各种样品尽可能地实现稳定而又

可靠的自动测量。

VMZ-S系列中,添加了许多为能够稳定而又精准可靠地完成连续自动测量所不可或缺的功能。


1



可应对各种边界清晰成像的丰富多彩

的照明

标准变焦头配备垂直反射照明、透射照明、8段LED可动式环形照明。通过照明和光量的任意组合,即使是难以检测的有高低差和倒角的样品,也能正确检测合适的边界,进行稳定的自动测量。



2



稳定而又精准可靠的影像边界检测功能

当存在一个以上的边界信号时,用户可根据需要 断选择其中之一。

可排除样品表面异物或样品本身缺陷所造成的边界误采。进行更准确、更稳定的自动测量。


3



强大的图形图案搜索定位功能

利用尼康强大的图形图案搜索定位功能进行编程,VMZ-S不仅能够完成对被测件(工件)的自动方位找正,还能克服被测件的个体差异,完成对预设位置待采边界的自动精准采样,即使一次性测量多个样品时,也可进行顺畅不停滞的连续自动测量。



4



为满足不同需求,一共有6种不同倍率

的光学变焦头可供用户选择

除TZ型光学头(8档变焦)外,其余各光学头均为5档变焦。用户可根据被测尺寸要求,选择合适的光学头。


5



易于上手、功能强大的NEXIV通用测

量软件

NEXIV通用测量软件 NEXIV AutoMeasure 具有良好的图形用户界面 (GUI),方便新手快速上手,同时还具备各种强大的功能,可满足高端客户的要求。


便于操作的用户图形界面

•辅助编制自动测量程序:以向导形式提供示教步骤。只需遵照画面指示即可轻松回放。

• 测量代码的标签化管理:可选择任意的测量代码,按标签进行颜色区分,简明易懂地实施管理。

• 向导面板:自动显示作业中的测量步骤。


测量编程辅助功能



公众号ID:天津昀恺科技有限公司

咨询热线:13389915269

网站:www.ykkj-tj.com

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天津昀恺科技有限公司
天津昀恺科技有限公司是一家专注于光学领域的高新技术企业,致力于光学成像,光电产品的研发,为客户提供专业的光学系统解决方案,多年来与行业内顶尖的国内外光学公司建立了战略合作。公司以诚信,专业,服务,创新为宗旨,用科技之光点亮世界,造福人类。
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