为期三天的国际半导体展SEMICON China 2018在上海新国际博览中心顺利落下帷幕。作为全球领先的工业气体供应商之一，普莱克斯携其电子气体、材料及供气专业解决方案亮相此次盛会，受到广泛关注与高度评价。
普莱克斯展台受到了客户的高度赞许及同行的密切关注，吸引了国内外众多客户前来观展咨询，现场气氛异常火爆。
现场工作人员的热情服务和专业讲解，拉近了普莱克斯与客户的距离，为大家更进一步的合作奠定了坚实基础。
通过这次展会，普莱克斯的品牌形象和公司实力更加深入人心，这也激励着每一位普莱克斯电子业务的同事们更加努力，不断为客户创造价值。
普莱克斯多样化的电子气体产品、材料及集成系统
安全，可靠，科学
SiH4 SureFlowTM系列BSGS 设备
SureFlowTM 系列BSGS供气设备均采用PLC控制自动化供应模式，可符合客户采用钢瓶和鱼雷管车等不同供应模式的选择。普莱克斯作为CGA-13标准发展成员之一，已成为气体供应集成系统优秀的供应商。在中国拥有高效、完备的紧急响应团队，产品供应与亚洲多区域协调发展，普莱克斯SiH4物料原产地来自最大SiH4原物料生产供应商REC，具备安全可靠的供应品质与多样化的产品单元（如：钢瓶，鱼雷车：20尺、40尺）；在行业长期性安全记录稳居前列。普莱克斯已成为全球领先的电子工业供应商。
NH3 SureFlowTM系列BSGS 设备
普莱克斯NH3 BSGS 供应集成系统广泛适用于LCD和LED等电子产业NH3供应使用需求。拥有SureFlowTM 500，1000和2000系列供应系统，满足客户对高纯度NH3安全、稳定、流量大的使用要求，可实现20,000L 槽车供应模式。单体设备最大供应流量可超过2000slpm供应能力，设备采用高洁净度的调压阀管件，在线加热系统设计可解决J-T冷凝效应。普莱克斯NH3 BSGS通过模拟客户Fab工厂条件，对设备加热、温度、供应流量、压力以及稳定性监测，特殊的加热装置对BSGS系统输送能力有显著提高。普莱克斯可根据客户实际使用需求，提供全面、科学、安全、稳定的气体供应解决方案。
UpTime 系列气体
普莱克斯负压钢瓶UpTime气体主要用于半导体离子植入工艺， 与其它吸附式钢瓶不同在于通过高压填充植入所用气体，经由内部毛细管装置减压，并通过波纹管在负压状态下扩张方式流出气体。其钢瓶规格和接口符合机台的相关要求，可适用于目前半导体制造中所有种类离子植入机。
相比于吸附式钢瓶，UpTime钢瓶可以填充更大容量气体，在使用率上可以达到95%以上的更高水准，大大降低客户使用成本。
普莱克斯的UpTime系列气体在亚洲区市场总体占有率已达到1/3以上，中国区市场占有率亦约30%。尤其是近些年在中国的市场年均成长率达到50% 以上。
普莱克斯UpTime产品覆盖了目前植入机所需用到的所有特殊气体，包括传统AsH3，PH3，BF3，以及多种混合气体，诸如BF3/B2H6/H2混合气，GeF4/CH3F混合气等等。随着先进工艺的发展，越来越多的混合气体被使用到植入工艺中，UpTime BF3/B2H6/H2已成功批量出货给中国主流Fab，并得到客户满意的结果，使客户机台维护周期得到35%以上的提升，帮助客户节省大量机台维护成本，提高客户的生产产能。
镭射激光混合气
普莱克斯运用其领先的精准混合气制造技术和稀有气体生产工艺，拥有机台OEM的品质认证、稳定的原材料供应、多区域化混合气生产以及高精度的分析能力，为客户提供安全可靠，极具市场竞争力的激光镭射气体。
高纯度乙炔气体
高纯乙炔被广泛运用于Hardmask工艺。相较于传统生产的乙炔，普莱克斯通过对气体的纯化和升级，提供高品质、更安全和独特包装的产品。
此外，普莱克斯在本次展会上还展出了包括半导体工厂的大宗气体专业现场制气、服务解决方案及金属溅射靶材等产品和技术。
展无界，会有期
普莱克斯将为您持续带来更多不一样的精彩！
刘煜 (Leo Liu)
General Manager of Process Gases, Praxair China
Tel: +86 (21) 28947489
E-mail: Leo_Liu@praxair.com
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