今年三季度，福赛特推出了国内首套MOCVD晶圆倒片机及晶圆传输自动物流系统。此系统旨在实现LED半导体工厂核心工艺设备MOCVD的晶圆倒片及晶圆传输功能，由如下设备和子系统组成：MOCVD晶圆倒片机，配置了防尘货架的AGV，存储石磨盘的电子货架，和与MOCVD对接实现上下片功能的周转单元。
MOCVD晶圆倒片机
MOCVD晶圆倒片机及晶圆传输自动物流系统，是福赛特继推出PVD倒片机，PSS上片机，PSS下片机等产品后，在多年技术和行业积累的基础上研发成功的。福赛特从LED半导体晶圆制造设备介入行业，潜心研发，技术涵盖晶圆上下料，晶圆传输、晶圆取出、智能物流等多个方面。在国家政策推动和公司研发催化双重作用下，2020年起客户数量不断增多，公司已成为LED半导体行业多家龙头企业的自动化设备首要供应商。
晶圆传输自动物流系统
随着传统LED市场进入饱和，MiniLED及新技术正接力进入快车道。据行业数据，MiniLED市场2024年有望达到150亿元，将带来关键设备材料合计70亿空间。MOCVD作为决定核心质量及良率的工艺设备在MiniLED产业链中起着举足轻重的作用。福赛特洞悉行业需求，自主研发的MOCVD上下片机及晶圆传输自动物流系统，能够有效地提升晶圆良率，满足MiniLED对于良率的超高要求。围绕着MiniLED产业链，福赛特将继续深挖行业需求，持续开发新产品，未来发展潜力巨大。
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