6月24日,2023年度国家科学技术奖在北京揭晓,共评选出250个项目,由广东工业大学作为第一完成单位,华道超精创始人杨志军教授参与完成的“面向高性能芯片的高密度互连封装制造关键技术及装备”荣获国家科技进步二等奖。
研究团队代表在京领奖
据了解,该项目是广工与大族激光科技产业集团股份有限公司、广东佛智芯微电子技术研究有限公司、安捷利美维电子(厦门)有限责任公司、深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司、广东阿达半导体设备股份有限公司长期合作取得的研究成果。杨志军教授联合研究团队其他成员,历经近二十年的基础研究与产学研技术攻关,突破了多项关键技术,形成了行业领先优势,成果获得行业一流龙头企业的严格认证与成功应用。
事实上,杨志军教授一直从事电子制造装备设计理论与方法创新研究,解决了高速运动平台的振动抑制和摩擦补偿问题,实现精度量级提升;带头组建了广东工业大学高速精密运动创新团队,开发了5代运动平台,并与部件供应、平台制造、平台应用企业建立了战略合作关系,技术成果在大族集团、深圳泰道、成都光电等企业实施,取得了显著的经济效益。
2020年,华道超精成立,正是由广东工业大学高速精密运动创新团队的技术成果孵化而来。在杨志军教授带领下,华道超精依托精密电子制造技术与装备国家重点实验室,首创刚柔耦合宏微一体化设计方法,攻克了长行程高速纳米定位难题,开发了直线电机、滚珠丝杠、旋转电机驱动的各种刚柔耦合平台,先后获得了第十届佛山创新创业大赛高端装备制造(初创企业组)一等奖,港科大创赛佛山赛区亚军,智能制造超新星,日内瓦国际发明展金奖,广东省专利金奖,中国专利优秀奖等多项荣誉,并与徕泰光电等佛山企业建立了合作关系。