扩散泵不起作用
1、 系统或扩散泵泵体漏气——关闭泵入口高真空阀门、进行检漏并修复。
2、 加热器不工作——检查电炉电源是否接触良好和电炉丝是否烧断。
3、 油温不足，没有形成有效射流——检查加热电压和功率是否符合规定。
4、 泵出口压力过高——检查前级管道有无漏气，前级泵抽速是否符合要求，工作是否正常。
5、 泵本身漏气——查前级管道与泵体焊接处，泵底与泵体焊接处是否漏气，应对此二处细加检漏。
6、 泵底烧穿——更换。
7、 扩散泵油量不够——加油到规定量。
系统极限真空度降低
1、 系统漏气同，扩散泵本身微漏——查出并消除漏处。
2、 泵芯安装不正确——检查各级喷口位置和间隙是否正确。
3、 系统和泵内不清洁或除气不彻底——检查、清洗、烘干泵和系统，系统彻底烘烤除气。
4、 泵油被污染变质——泵清洗后更换泵油。
5、 泵冷却不好，泵内温过高，引起泵油蒸气压增高，致使返流量增加——检查冷却水流量和进出水温度，保持水路畅通、环境通风。
6、 泵油不足——加油至规定量。
7、 泵过热——降低加热功率并检查冷却水流量。
8、 主泵或机组抽速低——加大主泵抽速或改善系统通导能力。
9、 排气工艺不合理——改进排气工艺。
10、测量规管“中毒”——清洗或更换规管。
抽速过低
1、 泵油加热功率不足——检查电源电压及加热器功率是否符合规定。
2、 扩散泵泵芯安装不正确——检查各级喷嘴有无倾斜及间隙是否正确，调整正确。
3、 前级压力过高，前级泵抽速太小——检查前级压力及抽速，如前级泵过小，进行更改。
4、 扩散泵油变质或牌号不对——清洗扩散泵并更换符合规定的泵油。
5、 扩散泵入口压力过高——检查扩散泵入口压力，过高时关高真空阀，改用粗抽泵抽至扩散泵允许入口压力值，再开高阀用扩散泵进行抽气。
6、 泵入口冷阱通导能力不够——更换大通导冷阱。
7、 泵入口高真空阀没有完全打开，气动阀气压不够——检查高真空阀，调整阀门及气压。
8、 气体负荷或工艺放气计算不准，所选的主泵抽速小——重新计算并更换符合抽速要求的新泵。
返油率过大
1、 扩散泵顶喷嘴螺帽松动，泵芯内结构不合理——清除通孔螺帽，加挡油帽改进结构，加挡油装置并重调加热功率，加防爆沸挡板，泵口加冷阱。
2、 扩散泵电源电压低，加热功率不对——按正确的操作规程操作，调整电压。
3、 系统操作工艺不对，扩散泵较长时间工作在过渡压力范围内（1-0.1Pa）——改进操作工艺，调整扩散泵的工作压力。
4、 前级泵发生故障，扩散泵出口压力超过允许最大值——系统停止工作，检修前级泵。
5、 扩散泵水冷系统故障，泵油被前级泵大量抽走，破坏泵的正常工作——修复水冷系统故障，加强泵的冷却。
6、 冷阱或水冷挡板冷却失效或冷剂量不够——修复或添加冷剂。
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