极限真空度低
1、 前级泵不匹配，抽气量不足——重新选配合适的前级泵。
2、 系统漏气——查出并消除漏处。
3、 泵体出气——对泵体进行烘烤除气，烘烤温度不应高于150℃。
运转中泵体及转子发热，涡轮叶片变形
1、 泵在磁场中高速运转，产生涡流导致叶片发热变形——避免泵在磁场中运转，如必须在磁场中运转最好使用隔磁材料，使其磁场磁通密度小于30T。
2、 冷却系统故障——检查水冷或风冷系统，使之正常工作。
涡轮叶片损坏
1、 泵口保护网损坏，使泵内进入碎屑杂质——装换保护网。
2、 运转中泵口突然暴露大气——设置自动保护装置，在突发事件中能自动切断电源。
泵运转时震动和噪声大
1、 转子动平衡不好——重新进行转子动平衡。
2、 轴承润滑不好或轴承损坏——检查并修复油路，或更换轴承。
3、 前级压力过高——降低前级压力。
4、 泵安放位置不正确——按照使用说明书正确安装。
超高真空抽气系统中的氢分压突然升高
1、 泵体未经彻底烘烤除气——低于150℃长时间烘烤去气。
2、 冷却水温过高或冷却系统故障使泵温升高——冷却水温应低于14℃，运转中保证冷却系统正常工作。
油蒸气返流
1、 突然停电或停泵时，泵内没有及时充入干燥气体——在泵转数降至最大转速一半时，应及时充入干燥气体。
2、 前级泵返流严重——降低前级返油率。
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