造成靶材出现黑化的因素有很多，与靶材的成分及密度、靶材的溅射功率、靶表面的温度以及靶材表面的清洁度、靶材背板、阳极罩的清洁度、靶材之间的间隙、真空室内的杂质气体含量等有关系。要减小靶材黑化对ITO膜面电阻及透过率的影响，应要求：
1） 每次换靶固定焊接靶材时控制好靶材之间的间隙；
2） 每次换靶时，要保证靶面平整干净，要对屏蔽罩、靶板等进行打磨，保证干净无异物；
3） 换靶时对真空室卫生的处理以及开机前的关门准备工作要做细致，减少漏气的几率；
4） 确保靶材的冷却系统正常工作，冷却充分均匀；
5） 在正常生产几天后，对出现的靶材黑化现象可以通过调节靶的溅射功率来适当减小靶材黑化对电阻和透过率的影响。
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