真空仪表的正确维护是保证测量结果的准确、可靠以及延长使用寿命的重要环节。在应用中，通常应注意如下几点：
1、 在使用前应进行的检查
（1）外观检查：检查规管电极电否变形、脱焊和污染，管壳玻璃是否有裂纹。仪器的表面是否有锈蚀，这在仪器长期存放时更应注意，仪表的机械零点是否正确等。对于玻璃真空仪表则检查是否有破裂、工作液是否氧化等。
（2）基本电性能检查：一般可用一只预先封于一定真空度（或未开封）的规管进行检查，检查的步骤基本与真空测量时一样。通过这种检查，大致可明确仪表的电性能是否正常，它对于新真空仪表尤为重要，通过检查还能熟悉和掌握测量的操作技术。
（3）必要时可进行校准，以检查准确度。
（4）对长期存放不用的仪器，必要时应先进行内部检查，然后再检查基本性能或准确度。如带磁钢的，还应检查其磁性有否消失以及其装在规管上的位置是否变动。对于超高真空和极高真空规管的收集极应检查与其他电极之间的漏电是否增大。
2、 在使用过程中应注意的事项
（1）应正确操作，并加以必要的维护，以防止灰尘、油污以及潮气的侵入和超过容许的振动。
（2）应注意仪器的稳定性（如零点漂移、发射电流及阳极高压等的稳定性）是否变坏以及其他不正常情况的出现，以便及时检修。
（3）经长期使用后，应对规管和仪器部分进行内部检查，以清除可能集积的尘污，必要时可进行基本性能的检查和校准。
（4） 真空测量仪表的贮存环境一般温度为+10—40℃；相对温度小于80%（10—25℃时）；无腐蚀性气体；通风良好；无强烈机械振动和强烈电磁场。
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