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真空镀膜的膜层厚度如何测量

真空镀膜的膜层厚度如何测量 广东振华科技股份有限公司
2015-12-09
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导读:在使用真空镀膜机镀膜之后,为了需要可能会要测量膜层的厚度,测量膜层的厚度用什么方法呢?








在使用真空镀膜机镀膜之后,

为了需要可能会要测量膜层的厚度,

测量膜层的厚度用什么方法呢?

小编来教你~



最直接的镀膜控制方法是石英晶体微量平衡法(QCM),

这种仪器可以直接驱动蒸发源,

通过PID控制循环驱动挡板,

保持蒸发速率。


只要将仪器与系统控制软件相连接,

它就可以控制整个的镀膜过程。

但是(QCM)的精确度是有限的,

部分原因是由于它监控的是被镀膜的质量而不是其光学厚度。


此外虽然QCM在较低温度下非常稳定,

但温度较高时,

它会变得对温度非常敏感。

在长时间的加热过程中,

很难阻止传感器跌入这个敏感区域,

从而对膜层造成重大误差。


光学监控是高精密镀膜的的首选监控方式,

这是因为它可以更精确地控制膜层厚度(如果运用得当)。


精确度的改进源于很多因素,

但最根本的原因是对光学厚度的监控。










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广东振华科技股份有限公司始创于1992年,是一家专门为客户提供优质真空镀膜解决方案的企业,公司独立研发、生产、销售真空镀膜设备,提供镀膜工艺及技术支持。
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