真空度低
1、 油量不足——加油到油标中心。
2、 油脏或乳化——换油。
3、 泵油牌号不符或混油，夏季使用粘度过小的油——换油。
4、 漏气——检查轴封、排气阀、端盖、进气口等部位的密封情况，并修换密封圈。
5、 配合间隙过大（或有磨损和划痕）——检查泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，清除杂物、杂质、按精度要求修磨。
6、 油路不通，泵腔内没有保持适当的油量——调节油路的进油量，清洗时用高压空气吹通油孔，把沉积物清洗干净。
7、 泵运转中温升太高，使泵油浓度变稀，密封性变差，油蒸气压增大——通冷却水降温，检查配合间隙按精度要求进行修理。
8、 泵中隔板压入时过盈量过大，使泵腔鼓起变形，漏气——修整泵腔或换泵、报废。
9、 排气阀片损坏密封不好——修换阀片。
10、装配不当，端盖板螺钉松紧不一，转子轴心位移——重新装配。
11、旋片活动不好——修磨转子和旋片的配合，调换弹簧。
12、被抽气体温度过高——热气体补抽入泵之前加冷却装置。
13、进气管内的过滤网被堵——取出进气口过滤网清洗干净烘干后再装好。
14、 气镇阀垫圈损坏或没拧紧——换垫圈，拧紧气镇阀.
电动机超负荷运转，甚至转不动，发生“卡死”现象
1、 弹簧损坏，使旋片受力不均匀——换弹簧。
2、 装配不当，使某局部受力——重新装配。
3、 由于过滤网损坏，外部污物如金属屑、颗粒等落入泵腔内——拆泵检查、清洗、装好过滤网。
4、 端面间隙过小，泵温升过高——修磨转子旋片，调整间隙。
5、 泵油变质或结垢，油粘度不恰当——换油。
6、 转子损坏——重配新件。
7、 轴和轴套配合过紧，缺油润滑——加强油路润滑。
8、 中间气道不畅通——清理中间气道或换用薄一点的橡皮垫。
9、 轴中十字接头损坏——修换转子轴或十字接头。
泵在运转中有杂音、噪声
1、 弹簧断，运转中发出旋片的冲击声——换弹簧。
2、 零件松动——重新装配。
3、 泵腔内有脏重，零件有毛刺或变形——拆洗、检查、修磨。
4、 泵腔内油的润滑不良——疏通和调节油路。
5、 泵腔内有害空间太大——属泵本身的毛病，可将中隔板偏移几厘米以减小有害空间。
6、 电机故障——换修电机。
漏油
1、 轴承、端盖、油窗、放油孔、油箱等部位的密封件损坏或者没有压平压紧——调换新密封件，装配时注意位置正确，螺钉拧紧，并使压力均匀适当。
2、 箱体有漏孔——堵漏。
喷油
1、 油量过多——放出多余油量。
2、 突然暴露大气——开泵时应注意断续启动电机。因系统损坏而暴露大气，应注意关闭低真空阀或夹上夹子。
3、 原泵设计油箱较小——在排气口增设油气分离装置，并在排气口接上橡皮管引离工作场地。
4、 泵转子反转——重接电源，换向。
启动困难
1、 油温过低——给油加温到15℃以上。
2、 泵内润滑不良——保证工作场地室温在15℃以上，调节油路增强润滑。
3、 油已变质或混入某种扩散泵油——换油。
4、 停泵时泵腔内未放入大气，大量泵油进入泵腔——停泵时要注意放气，检查压差阀是否正常工作。
5、 电机断一相电源（此时电机无声）——检修电源。
泵不抽气
1、 泵联轴器损坏或皮带轮键损坏，致使转子不转——更换联轴器或键。
2、 双级泵转子十字接头损坏，高真空级转子不转——更换。
3、 泵进气口阀门未开——打开阀门。
4、 排气阀片损坏破碎——更换排气阀片。
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