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国内第一台PECVD卷绕式高阻隔膜连续沉积设备在振华诞生

国内第一台PECVD卷绕式高阻隔膜连续沉积设备在振华诞生 广东振华科技股份有限公司
2014-03-27
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导读:该台卷绕式高阻隔膜连续沉积设备,可同时镀制双面PECVD膜层。采用多区域放电多转辊结构,在薄膜上沉积Siox

该台卷绕式高阻隔膜连续沉积设备,可同时镀制双面PECVD膜层。采用多区域放电多转辊结构,在薄膜上沉积Siox阻隔膜,沉积速率高,质量好。可应用于食品、电子元器件、医疗用品的高档包装。

 

其工作原理是真空镀膜机在真空状态下,将被镀件置于低气压辉光放电的阴极上,通入适当气体,在一定温度下,利用化学反应和等离子相结合的离化聚合过程,在工件表面获得涂层,而气相物质吸收于工件表面并互相反应,最后形成固相薄膜沉积在工件表面上。

 

这种成膜优点有:

1、低温成膜,温度对基片影响少,避免了高温成膜的晶粒粗大及膜层与基片之间生成脆相;

2、可制备厚膜,膜层成分均匀,针孔小,致密,内应力小,不易产生微裂纹;

3、等离子体对基片有清洗作用,增加了膜层的附着力;

4、可以在不同基片上制备各种金属膜,非晶态无机物膜,有机物聚合膜。

 

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肇庆市振华真空机械有限公司

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广东振华科技股份有限公司
广东振华科技股份有限公司始创于1992年,是一家专门为客户提供优质真空镀膜解决方案的企业,公司独立研发、生产、销售真空镀膜设备,提供镀膜工艺及技术支持。
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广东振华科技股份有限公司 广东振华科技股份有限公司始创于1992年,是一家专门为客户提供优质真空镀膜解决方案的企业,公司独立研发、生产、销售真空镀膜设备,提供镀膜工艺及技术支持。
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