该台卷绕式高阻隔膜连续沉积设备,可同时镀制双面PECVD膜层。采用多区域放电多转辊结构,在薄膜上沉积Siox阻隔膜,沉积速率高,质量好。可应用于食品、电子元器件、医疗用品的高档包装。
其工作原理是真空镀膜机在真空状态下,将被镀件置于低气压辉光放电的阴极上,通入适当气体,在一定温度下,利用化学反应和等离子相结合的离化聚合过程,在工件表面获得涂层,而气相物质吸收于工件表面并互相反应,最后形成固相薄膜沉积在工件表面上。
这种成膜优点有:
1、低温成膜,温度对基片影响少,避免了高温成膜的晶粒粗大及膜层与基片之间生成脆相;
2、可制备厚膜,膜层成分均匀,针孔小,致密,内应力小,不易产生微裂纹;
3、等离子体对基片有清洗作用,增加了膜层的附着力;
4、可以在不同基片上制备各种金属膜,非晶态无机物膜,有机物聚合膜。
喜欢振华真空今天的产品推荐,请点击右上角按钮分享到朋友圈!
肇庆市振华真空机械有限公司
官方网址:www.zhenhuavacuum.com
公众微信号:ZhenhuaVacuum

