扩散泵油蒸气
1、 改进喷嘴挡油结构，采用憎油材料的冷挡油帽。
2、 在泵入口系统中加液氮冷阱、吸附阱或升华阱。
3、 采用分馏型扩散泵，用好的扩散泵油。
4、 改进系统操作工艺，尽量减少扩散泵在过载区的抽气时间；避免在泵开始加热和关闭加热期间接通高真空端。
5、 接通高真空阀之前，对扩散泵进行轻度烘烤除气；在启动和停机过程中用气体冲洗扩散泵。
机械泵油蒸气
1、 在P﹥15Pa时进行粗抽与扩散泵抽气切换。
2、 采用蒸气压低的机械泵油，并在粗抽管路中设置吸附挡油阱。
3、 采用气体冲洗，在机械泵入口设置电磁压差放气阀。
系统中的密封材料、有机物和润滑油等
1、超高真空系统采用金属密封结构。
2、系统预先真空烘烤。
3、采用无油干式润滑剂。
水蒸气
1、 系统烘烤除气。
2、 扩散泵入口加冷阱。
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肇庆市振华真空机械有限公司
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