真空容器中压力升高（二级冷阵的温度低于20K）
1、 真空系统或低温泵本身有漏气——进行真空系统检漏；检查安全减压阀是否复位；对低温泵机械检漏。
2、 被抽容器中存在着He、Ne、H2等不可凝气体（因吸附板饱和）——泵进行再生处理。
3、 固定二级冷阵的螺钉松动，使吸附抽气表面温度高于20K——将泵恢复到常温后，检查一、二级冷阵装配情况。
真空容器中压力升高（低温表面的温度低于20K）
1、 二级冷阵的吸附器已吸附饱和——泵进行再生。
2、 抽气负载过高——利用屏蔽或降低辐射表面温度。
低温泵二级冷阵的温度达不到20K或需很长时间才能达到20K
1、 制冷机制冷能力变差——检查压缩机供气压力是否正常，如压力低机械补气；对泵进行再生处理；蓄冷器被污染，或一、二级密封环磨损。
2、 压缩机气压低——补气。
3、 真空系统或低温泵本身有漏气——真空系统进行检漏；泵检漏、安全阀是否复位。
4、 低温泵内部存在较多的He、Ne、H2等不可凝气体（分压较高）——用干燥N2冲洗或再生。
5、 压缩机工作不正常——检修压缩机。
低温泵发出隆隆响声
1、50Hz/60Hz开关位置错——置开关于正确位置。
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