真空系统其实就是
真空机组的一个类似的称呼，
真空机组是由几种真空泵
组合而成的一套闭环真空设备，
它不见得有一些诸如散热器，
冷凝器等等设备存在。
而一般能称为真空系统的
肯定是各种零部件齐全。
真空应用设备种类繁多，
但无论何种真空应用设备都有
一套排除被抽容器内气体的抽气系统，
以便在真空容器内
获得所需要的真空条件。
举例来说：一个真空处理用的容器，
用管道和阀门将它与真空泵连接起来，
当真空泵对容器进行抽空时，
容器上要有真空测量装置，
这就构成了一个
最简单的真空抽气系统。
那么真空系统相比较于机组
来说有多少泵组成呢？
这个是不确定的，
我们先来认识一下可能存在的泵的名词
在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。
在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。
事实上简单的真空系统
只是能获得一个粗真空，
而想要获得高真空时，
通常在真空系统中串联一个高真空泵，
比如罗茨泵和螺杆泵等
都是获得高真空的泵。
当串联一个高真空泵之后，
通常要在高真空泵的
入口和出口分别加上阀门，
以便高真空泵能单独保持真空。
如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵，
为了防止大量的油蒸气
返流进入被抽容器，
通常在油扩散泵的入口加一个捕集器
水冷障板。
根据要求，
还可以在管路中加上除尘器、
真空继电器规头、
真空软连接管道、
真空泵入口放气阀，
散热器等等，
这样就构成了一个较完善的高真空系统。
