蒸发源是用来加热膜材使之汽化蒸发的装置。镀膜厂最常用的蒸发源主要有电阻加热和电子束加热。
电阻式蒸发源的材料应选择熔点高、蒸气压低、不与被蒸发材料反应、无放气现象和其他污染、具有合适的电阻率等性能的材料。通常选用难熔金属W、Mo、Ta等。石墨和合成导电氮化硼也是重要的电阻蒸发源材料。石墨作蒸发源材料时应选用高纯度、高密度的石墨。合成导电氮化硼是近年来广泛采用的新型蒸发源材料，它耐熔融金属的腐蚀性和抗热冲击性能优良，对膜层的纯度影响最小，但成本较高。用这些金属做成形状适当的蒸发源，让电流通过，从而产生热量直接加热蒸发材料。
有时很多材料不能用电阻加热的形式蒸发，例如常用于可见光和近红外光学器件镀膜的绝缘材料。在这种情况下，必须彩用电子束加热的方式。电子束加热所用的电子枪有多种类型可供选择。多坩埚电子枪可采用一个源对多种材料进行蒸发，这种枪在镀制多层膜且膜层较薄的工艺中应用效果很好。当需要每种镀膜材料用量较大，或每个源都需要占用不同的位置时，可以选用单坩锅电子枪。电子枪所用电源的大小更多地取决于蒸发材料的导热性，而不是其蒸发温度。电源功率一般在4-10KW之间，对于大多数的绝缘材料，4KW就足够了；而如果想达到很高的沉积速率，或在一个很大的真空室内对导热材料进行蒸发时，则需要10KW以上更大功率的电源。
****〖欢迎关注我们，有你更精彩〗****
振华真空为客户提供精密光学镀膜设备、高档塑料装饰膜蒸镀设备、多弧磁控镀膜设备及连续镀膜生产线四大系列真空产品！
『分享』如果本篇内容对您有帮助，请点击右上角分享到朋友圈或直接转发给朋友。欢迎转载分享！
『关注』通过微信搜索公众号振华真空或者搜ZhenhuaVacuum，就可以找到我们！
『往期订阅』关注后“查看历史消息”，往期一样精彩！