加热烘烤除气
真空中的“烘烤”系指在抽气循环的某一阶段中，将真空系统升温，随后又使之降到环境温度的过程。烘烤的目的是使吸附的气体从被加热的表面上解吸，而且其解吸速率要远远大于在环境温度下的解吸速率，对解吸出的气体，用真空泵从系统中排除。
烘烤的优点在于能在规定的抽气时间内达到较低的压力；或为达到规定的压力，所用的总抽气时间较短。
电子束轰击除气
电子轰击除气的方法是在纯金属阴极真空器件（X光管、振荡管等）中应用较多。它能除掉表面氧化膜和微突起，对改善器件尤其是高压电真空器件的特性好处很大。
电子轰击能够获得具有高吸附活性的清洁表面。但轰击一停止，它即迅速吸附空间的气体，造成真空度上升的假象。当器件再工作时，这部分气体又很快放出使真空度下降。这种现象在大功率电真空器件中最为明显，因此应在除气终了时使器件保持较高的本底真空度。
离子轰击除气
离子轰击固体工件表面不仅能加热工件表面，而且能溅射去除表面层，清洁表面。利用离子源或空间辉光放电而产生的气体离子轰击工件材料的表面，使吸附在材料表面层的污染物（吸附气体、氧化物等）发生溅射作用而分解解吸出来。
离子轰击的溅射产物主要是中性原子，但也有氧化物及正或负的离子。离子轰击金属氧化物的溅射率比纯金属低得多。另外，离子轰击除气方法一般不能用在电真空器件中，因为离子轰击对器件阴极的危害很大。
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