真空镀膜技术——真空获得：真空泵

旋片机械泵

工作过程是： 吸气—压缩—排气。 

定子浸在油中起润滑，密封和堵塞缝隙的作用。

主要参量是： 抽速和极限压强。 

由于极限压强较高， 常用做前级泵(预抽泵)。

油扩散泵

工作过程是：油蒸发—喷射—凝结，重复循环 

由于射流具有高流速(约200米/秒)、高密度、高分子量(300—500)，故能有效地带走气体分子。 

扩散泵不能单独使用，一般采用机械泵为前级泵，以满足出口压强(最大40Pa)，如果出口压强高于规定值，抽气作用就会停止。

涡轮分子泵

工作过程是：高速旋转叶片(30000转/分)—对气体分子施以定向动量—压缩—排气。 

优点：无油，洁净，启动快，制动快，可忍受大气冲击。 

缺点：由于高速旋转，不能在磁场中使用，否则会产生涡流，导致叶轮发热、变形等严重后果，对氢气等轻质气体抽速较小， 价格昂贵。