
1.等离子体是正离子和电子的密度大致相等的电离气体。由离子,电子,自由激进分子以及中性粒子共同组成。
2.属于物质的第四态。由于等离子体是具有比气体更高的能量组合体,处于等离子体环境中的物质可以获得更多的物理化学等反应特性。
3.等离子清洗机的机理是依靠处于“等离子态”的物质的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。
4.等离子体清洗也是所有清洗方法中最为切底的剥离式的清洗。可以广泛应用于半导体,微电子,COG前,LCD,LCM及LED制程。
5.器件封装前,真空电子,连接器和继电器以及太阳能光伏行业等的精密清洗,塑料,橡胶,金属和陶瓷等表面的清洗,刻蚀处理,灰化处理,表面活化等以及生命科学实验等领域。
工作原理

气体等离子化

设备优势

产品应用



