真空系统的检漏- 大数跨境

广东振华科技股份有限公司

2020-03-13

导读：A,漏率的定义和单位对于一个体积V容器,单位时间Δt内压力的变化量ΔP与该容器体积V的乘积就是漏率:Q=V*

A,漏率的定义和单位

对于一个体积V容器,单位时间Δt内压力的变化量ΔP与该容器体积V的乘积就是漏率:Q=V*ΔP/Δt

漏率的常用单位:Pa.m³/s, mbar.L/s, Torr.L/s

漏率其实反应的是在一定时间内泄露的气体分子的数量,严格的讲,没有泄露的系统是不存在的。检漏的目的在于:将漏率控制在一个可以接受的,不影响系统正常运行的程度。

B,几种检漏的方法及应用

(1)气泡法检漏

将打压后的被测件浸在水槽里,或者采用肥皂泡法,气泡可以反应漏率的大小,此方法通常用来检测一些小物品。

例如:工艺气瓶的检漏、布气板的检漏、磁控靶体的检漏,弧源水冷座的检漏,真空室水冷套的检漏等,虽然不能定量的检测出漏率的大小,但是判断是否存在漏点,是一种非常简易而又有效的检漏方法。

(2)压降法检漏

将待测件加上正压或者抽真空到一定压力,然后关闭阀门,通过真空计观察单位时间内的压力变化。采用抽真空的压降法可以作为对漏率大小的评估。漏率检测作为一项非常重要的技术指标,可作为设备验收的一项标准。

(3)气体检测法检漏

气体检测法可分为:氨气检漏法、卤素检漏法和氦质谱检漏法,其中最为常用和普遍的是氦质谱检漏法。氦气和其他气体相比有很多优点,例如:不能燃烧、无毒、价格适当、很轻、化学性质不活泼、气体分子小等。

使用检漏仪的注意事项:

掌握适当的喷气时间

检漏的次序.从上往下、由远及近喷吹

使用前要进行校准

以上文章来源于AM真空镀膜

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广东振华科技股份有限公司始创于1992年，是一家专门为客户提供优质真空镀膜解决方案的企业，公司独立研发、生产、销售真空镀膜设备，提供镀膜工艺及技术支持。

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