广东振华1200硬质涂层镀膜设备介绍与应用

该设备的阴极采用前置线圈与永磁叠加的双驱动技术，配合阳极层离子源刻蚀系统及三维多角度夹具，实现多工位同时工作；配备大直径阴极电弧，在大电流的使用条件下，其阴极电弧具有优异的冷却性，弧斑运动速度快，离化率高，沉积速率快，可高效沉积更加致密且光滑的涂层，其涂层的抗氧化及耐高温性能优势更显著。