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光学镀膜机可镀制哪些光学膜?

光学镀膜机可镀制哪些光学膜? 广东振华科技股份有限公司
2023-03-24
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导读:①减反射膜:例如,照相机、幻灯机、投影仪、电影放映机、望远镜、瞄准镜以及各种光学仪器透镜和棱镜上所镀的单层

①减反射膜:例如,照相机、幻灯机、投影仪、电影放映机、望远镜、瞄准镜以及各种光学仪器透镜和棱镜上所镀的单层 MgF薄膜,双层或多层的由 SiOFrO2、AlO、 TiO₂等薄膜组成的宽带减反射膜。

② 反射膜:例如,大型天文望远镜的铝膜,光学仪器中的反射膜,各类激光器中的高反射膜等。

③分光镜和滤光片:例如,彩色扩印与放大设备中所用的红、绿、蓝三种原色滤光片上镀的多层膜。

④ 照明光源中所用的反热镜与冷光膜。

 建筑物、汽车、飞机上用的光控制膜、低反射膜。例如,Cr、Ti、不锈钢、Ag、TiO2、Ag-TiO₂,以及ITO 膜等。

⑥ 激光唱片与光盘中的光存储薄膜。例如,Fes1GesSOz磁系半导体化合物膜,TeFe Co 非晶膜。

集成光学元件与光波导中所用的介质膜、半导体膜。

振华自动化磁控溅射镀光学膜设备介绍:


我司成功研发出SOM系列设备,是一款全自动化的磁控溅射镀光学膜设备。设备具有自动化程度高、载量大、产能大、稳定性高等优点。设备镀制膜层性能优越,可镀制多种/多重精密光学膜。


·设备介绍

1.自动化程度更高

    自带回传闭环生产功能,配备可分隔的进出料腔,进料与出料同时自动进行;外设配备机械手上下载片。自动化程度高,生产效率快,大幅度减少人工成本。

2.载量、产能更大,能耗降低

    默认配套24块载片,有效镀膜面积高达8平方米。与常规电子束蒸发光学机对比,其产能增加约50%,能耗降低约20%。

3、镀制膜层优势多,膜层性能优越

●可镀多种/多重精密光学膜:如AR膜、AS/AF膜、高反膜等高精度多层光学薄膜;

●镀膜品质好:配备独立镀膜腔,始终保持镀膜室的真空状态,有利于保证镀膜品质;

●膜层致密:采用磁控溅射镀膜技术,离子源能量高,膜层更致密,结合力更优;

●镀制膜层稳定性更高:设备配备了良好的抽气系统、稳定的电源输出、高稳定性的阴极系统、高速的工件旋转系统、精密的全自动程序控制系统,使得镀制膜层时具备极为稳定的沉积速率,保证膜层厚度精准,应力小,重复性好;

●硬度高:配备高能离子源,膜层反应程度高,可得到高纯化合物膜层,膜层硬度大幅提升:对比蓝宝石镀膜机,沉积膜层 SixNx纯度更高,硬度可达9H;

●膜系搭配灵活:可在线变更膜系工艺,满足不同工艺要求,节省工艺研发成本。


·行业应用

    SOM设备可沉积TiO2、SiO2、Nb2O5、NB、CR、Ni、 In、Ag、AF等材料,可实现各类光学彩膜、AR膜等膜系。

    设备可广泛应用于手机盖板、车载玻璃显示屏、摄像头等玻璃类产品,电子烟雾化芯产品、树脂片等




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广东振华科技股份有限公司
广东振华科技股份有限公司始创于1992年,是一家专门为客户提供优质真空镀膜解决方案的企业,公司独立研发、生产、销售真空镀膜设备,提供镀膜工艺及技术支持。
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广东振华科技股份有限公司 广东振华科技股份有限公司始创于1992年,是一家专门为客户提供优质真空镀膜解决方案的企业,公司独立研发、生产、销售真空镀膜设备,提供镀膜工艺及技术支持。
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