陶瓷电容连续式溅射生产线
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设备介绍
该磁控溅射镀膜生产线采用全自动化控制系统设计，方便直观的触摸屏人机对话界面；生产线设计了完备的功能菜单，实现整个生产线部件运行状态的全程监控，及工艺参数设置、运行保护和报警功能；整个电气控制系统安全、可靠和稳定。
配置了上下双面磁控溅射靶或单面镀膜系统。
设备规格型号：XCW8－0706 XCW5－0706 XCW3－0706
设备规格尺寸可按客户工艺要求订制
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技术特点
☆ 独立真空室体组合成线，多靶位，高效率，大产能，可选择双面或单面同时镀膜
☆ 独立真空门阀，真空隔断工程更可靠
☆ 分子泵真空抽气系统，抽速稳定，洁净无油
☆ 可增加真空室的系统设计，扩展后可实现多层膜系镀膜
☆ 优化的靶结构设计，靶材利用率高
☆ 稳定、高速的溅射沉积工艺
☆ 采用工控机，PLC控制系统实现全自动运行，触摸屏人机对话界面，多重功能菜单
☆ 精准的复合真空计控制系统，测量精度高，确保真空系统准确控制；
☆ 高精度气体流量控制系统，测量精度高，反应速度快，确保靶工作气氛稳定可控，靶工作稳定，膜沉积稳定，膜厚一致
☆ 设备自动化程度高，实现无人操作，工件镀膜前后能够自动运转回指定工位
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产品应用
用于陶瓷线路板、贴片高压电容等基片镀膜，主要应用领域为电子类线路板
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