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【融资】光刻胶企业徐州博康 完成新一轮超6亿元融资

【融资】光刻胶企业徐州博康 完成新一轮超6亿元融资 胶之道
2023-04-20
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导读:近日,徐州博康信息化学品有限公司(以下简称“徐州博康”)超6亿元融资顺利完成交割。本轮融资前,徐州博康已获得哈勃等知名产业资本投资。

近日,徐州博康信息化学品有限公司(以下简称“徐州博康”)超6亿元融资顺利完成交割。本次融资由中平资本、国开科创领投,武汉泽森资本、浑璞投资、云晖资本、无锡产业聚丰、山东铁路基金、青松资本、清枫资本、汇智产投、深圳前海赛睿、佛山恒峦、苏州国发跟投。新资金的注入将助力徐州博康加快推进在光刻胶全产业链自主创新技术的持续研发和产能布局,也为进一步打造徐州博康平台型精细化工企业提供了资金保障。


作为国内少数能够产业化生产半导体中高端光刻胶单体的高新技术企业,徐州博康拥有全品类光刻胶研发布局,产品包括ArFi、ArF、KrF、I线、电子束胶、封装胶、BARC、TARC以及水基胶等,且光刻胶种类数量国内领先,目前已有多款产品在国内12寸晶圆厂导入验证和销售。


本轮融资前,徐州博康已获得哈勃等知名产业资本投资。



资料显示,徐州博康成立于2010年3月25日,公司主要从事半导体光刻胶领域的光刻胶成品以及上游单体及树脂等原材料的研发、生产和销售。


公司专注于光刻胶原材料到成品的自主研发及生产,具有自主完整的供应链,搭建了从单体、光刻胶专用树脂、光酸以及最终光刻胶产品的一体化研发平台,实现了全产业链的国产化自主可控。光刻胶单体产品主要出口日本、韩国等国家。产品生产技术处于国内一流、国际先进水平。


公司处于全国领先的市场地位,拥有来自美国、英国、日本等国家世界级的研发团队,服务国内外IC领先制造企业在内的服务客户超过40家,掌握了完全自主知识产权的核心技术。



徐州博康作为国内领先的IC光刻胶与光刻材料公司,2022年以来在光刻胶相关的技术与工艺环节突破不断,也得到了下游客户的认可,有多款高端光刻胶产品分别获得了国内12寸晶圆厂的相关订单,包括ArF-immersion产品及ArF-dry,KrF,I-line等。其中,ArF-immersion产品已经适用于45nm-28nm制程。

具体分品类来看——

(1)ArF光刻胶有26款产品,其中ArF-immersion15款,ArF-dry 11款,可应用于14-90nm制程节点;有9款ArF-immersion及ArF-dry光刻胶正在客户端进行产品验证导入量产,品种类涵盖55nm、40nm、28nm及以下的关键层工艺,应用在LOGIC,3D NAND,DRAM等领域。2022年以来新增形成销售的ArF光刻胶有4款。

(2)KrF光刻胶有30款产品,其中,高分辨的KrF光刻胶,最小分辨率可达120nm,产品可应用于180nm-14nm制程中;KrF中厚胶,主要为L/S,针对8-12寸抗刻蚀层;KrF厚胶,主要针对高深宽比及高台阶覆盖的应用;KrF负胶,主要针对IC端和器件类特殊工艺应用;有20余款KrF光刻胶正在客户端进行产品验证导入量产,产品种类涵盖55nm、40nm、28nm及以下的关键层工艺以及集成电路、分立器件、传感器等应用领域。2022年以来新增形成销售的KrF光刻胶有15款。

(3)I线光刻胶有15款产品,主要为化学放大型光刻胶,相对于传统光刻胶,化学放大型光刻胶具有更高的分辨率、对比度和深宽比。有10多款 I线 光刻胶正在客户端进行产品验证导入量产,产品种类涵盖高能注入、抗刻蚀等关键层工艺以及PAD、Lift-off等应用领域。2022年以来新增形成销售的 I线 光刻胶有12款。

(4)电子束光刻胶有3大种类,为 PMMA 、PHS和HSQ体系,现已为数十家企业和高校提供标准化、定制化的电子束光刻胶产品。

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■ 来源丨徐州博康、势银膜链
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