今天为您带来的创新技术,其独特的混合性能,多功能性和成本效益。鲜为人知的高精度技术,陶瓷表面金属化工艺,(DirectPlatedCopper, DPC).

首先将高绝缘性的氧化铝(Al2O3)或氮化铝(AlN)陶瓷基板,通过激光切割设备,在陶瓷基片上打孔,预留出导电孔,再做预处理清洁,利用半导体工艺在陶瓷基板上溅射铜种子层,再经曝光、显影、蚀刻、去膜等光刻工艺,来实现线路图案的制作,最后再通过电镀或化学镀方式增加铜线路的厚度,移除光刻胶后即完成金属化线路制作.

生产出的产品,线宽/线距可达30μm~50μm,经过激光打孔和电镀填孔,使产品表面垂直互连,可实现电子器件三维封装与集成,大幅度降低了器件的体积.
DPC广泛应用于热电冰箱、大功率LED灯、集成电路中的无源器件(电容器、电阻器、电感器等)、混合集成电路、传感器、汽车电子、5G通信光学模块等。

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