柔性陶瓷膜在晶圆研磨废水中的应用

‌研磨废水‌是在研磨过程中产生的废水，主要来源于金属、塑料、玻璃等材料的研磨和抛光过程。这些废水具有以下特点：

研磨废水的特点

1.固体含量较高：研磨废水中的颗粒含量一般有300-2000ppm，其主要成分为二氧化硅，以及含有一些硅酸盐、氧化钙、氧化镁等；

2.固体颗粒细小：一般的研磨废水的固体粒径在0.1-100um左右，这样的颗粒情况一般是极其难沉淀的；

3.废水中有机物低：废水中一般仅仅含有极少的有机物，最多含有少量的表面活性剂；

4.废水电导极低：研磨废水在电子行业出现，对冲洗要求高，一般使用的是纯水作为冲洗水，所以该废水的电导率极低。

根据这些特点，我司拟采用“柔性陶瓷膜+超滤”的组合工艺，对于晶圆研磨废水中的无机颗粒有良好的截留作用，并且由于柔性陶瓷膜本身特殊的物理性能，具有耐磨性和耐腐蚀性；超滤膜更精细的孔径保证了出水达到更高品质的出水水质要求，对后续的反渗透膜起良好的保护作用。

工艺说明：晶圆研磨废水先排至预沉淀池，通过进水泵抽入柔性陶瓷膜设备内进行错流过滤产水，产水再进入超滤膜设备进行死端过滤产水，超滤产水排至产水池，等待回用或者后续处理。柔性陶瓷膜设备和超滤设备都配备自动反洗、化学清洗等辅助系统。预沉淀池底部要定期排渣，通过污泥泵抽出污泥，进入压滤机脱水后，滤液回流至预沉淀池继续浓缩，脱水后干污泥委托其他单位外运处理。

采用柔性陶瓷膜系统处理晶圆废水具有以下优势：

• 膜结构坚韧，不容易被细小的晶体划破；

• 使用简单，全自动操作，工艺处理稳定；

• 占地面积小，缩短处理工艺，减少投资量；

• 使用较少的加药量，污泥量减少，单位处理污水费用较少。