电子产业用无尘清洁擦拭布是一种广泛应用于LSI净化室、Ic净化室、半导体、生物制药等精密产业领域的无尘擦拭材料。无尘擦拭材料的起源可以追溯到1964年，美国Edward Paley发明了一款专门用来擦拭肉眼看不见的污染颗粒的布料，取得了良好的效果。当时微电子工业刚刚兴起，由于微电 子工业是对于环境要求相当苛刻的工业，污染控制变得尤为重要，而肉眼看不见的微小颗粒的污染控制更是变得十分的棘手。随着科学技术的迅猛发展，电子行业对于生产过程的要求越来越苛刻，尤其是微电子行业。高新技术领域需要越来越多的高性能清洁布，特别是电子行业，其市场潜力巨大。
1 、无尘清洁擦拭布的分类
1.1 按擦拭材料的织造方式分
按擦拭材料的织造方式分，无尘清洁擦拭布可分为机织物类、针织物类和非织造布类三类。其中以针织布擦拭材料使用最为普遍，这类产品通常采用连续长丝纺纱织布，从而拥有良好的耐用性，而针织的多孔结构也赋予此类产品良好的除尘去污能力。
1.2 按照使用的纤维的细度分类
按照使用的纤维的细度分类，无尘清洁擦拭布可分为普通纤维擦拭布和超细纤维擦拭布。普通纤维一般细度大于1．1dtex，东莞硕源电子材料有限责任公司的su系列涤纶的擦拭布为典型的普通纤维擦拭布，其单丝细度约为2．Odte.
1.3 按无尘清洁擦拭布切割加工分类
按无尘清洁擦拭布切割加工分类可以分为：冷裁切割(cold cut)、激光切割(Laser cut)、超声波切割(ultmsonic cut)、热能切割(heat cut)。如图l～4。
冷裁切割(cold c 激光切割(Laser cut) 超声波切割(ultmsonic cut)
热能切割(heat cut)
2 无尘清洁擦拭布的主要品质参数
无尘清洁擦拭布的主要品质参数主要包含两个方面，分别是：性能参数和洁净度参数。
2.1 无尘清洁擦拭布性能参数
2.1.1 吸收能力(Absorbency)
吸收性能是擦拭材料实现除尘去污能力的根本保证，国外有专家曾经说过，专业的买家一定会首先考察擦拭材料的吸收性[2J。擦拭布主要通过以下两种方式吸收吸附污液。
2.1 .1 .1 表面吸附
擦拭布通过表面能吸附液体。而表面改性后的涤纶擦拭布亦可通过表面引入的亲水基团(通常为一OH、一NH：、一COOH等基团)吸附液体，此种吸附方式由于与待清洁表面存在污液分配竞争，所以清洁能力有限 ]。
2.1.1.2 芯吸效应
芯吸也就是所谓的纤维毛细效应，通常由于纤维的结晶度不高以及超细纤维紧密聚敛而形成。这种吸附方式通常因为有芯吸效应的存在而显得吸收非常地彻底有效。天然纤维和超细纤维擦拭布的吸附吸收方式即为此种吸收方式。
2.1.2 俘尘能力(Particle Retention)
俘尘能力就是擦拭布能带走污染颗粒的能力，也就是擦拭布能够吸纳污染颗粒而不重新释放的能力，俘尘能力也是擦拭布的关键品质指标。俘尘能力取决于布料的织造结构、纤维的形状和性质。
2.1.3 耐用一[~(Durability)
耐用性能就是指擦拭布耐摩擦的能力，良好的耐磨性能不但可以降低擦拭材料的使用消耗，更能尽可能地降低擦拭布磨损掉屑带来的反向污染。擦拭布的耐用性能主要取决于用材的性质、织造结构.
2．2 无尘清洁擦拭布洁净度参数
2．2．1 污染颗粒释放量(Particle release)
微污染尘粒(particles)主要是指粒径介于0．1～lO0~m之间的污染颗粒，小于0．1 m的尘粒对于现实的生产环境基本上没有影响，而大于lO0~m的尘粒为肉眼可见颗粒。尘粒污染对于各行业的负面影响举例如下：
静电载体容易造成ESD污染，致使集成电路短路，损坏产品；影响芯片的有效叠加；在医疗方面，可能导致血管堵塞，某些死亡的细菌细胞还可以导致人们打冷颤、发烧，甚至死亡；影响纳米材料的制备。
2．2．2 非挥发性残留物(Nonvolatile Residue， 简称NVR)
擦拭布在配合挥发性清洁剂(比如酒精、异丙醇)擦拭的过程中，会有部分物质溶解于清洁剂，清洁剂挥发之后，这些物质却不随清洁剂一起挥发，而是结成有机或者无机膜覆于待清洁表面，从而造成了一定程度的反污染，这就是非挥发性残留物(NVR)。
无尘室耗材的残留物的主要表征方式如下：
用耗材在纯水中的残留物的量(NV DIW)来表征非挥发性无机残留物；用耗材在异丙醇中的残留物的量(NVR／IPA)来表征非挥发性有机残留物。
2．2．3 污染离子释放量
离子污染是指耗材在配合水或者其他溶剂的使用过程中，无尘布表面的一些溶解性的化合物会溶解到水或者其他溶剂中，形成离子溶液，特别是一些高活性的金属或者非金属离子(钠离子、钾离子、氯离子)会通过电池效应腐蚀表面。同时研究发现，离子在电场的作用下迁移有可能损坏高密度电子线路 。
2．2．4 表面毛刺密度
擦拭布表面毛刺是使用过程中掉屑的潜在因素，通常擦拭布表面毛刺密度越高，擦拭过程中就越容易因掉屑而污染被擦拭表面。
2．2．5 ESD污染
ESD(electro static discharge)即静电放电，ESD是电子工业的一大杀手。静电放电时候，能够击毁敏感的电子元件，对客户造成很大的损失。电子公司防静电区域使用的耗材也必须具有抗静电性能，即体积电阻和表面电阻分别小于1O 或10 21-l·cm，但大于lOSl~的材料。
3 清洁擦拭技术的基本原理
3．1 污染颗粒与表面黏附理想模型
污染颗粒与表面黏附理想模型见图5。
F=2πdy
F—污染颗粒与表面之间的黏附力
π—常数
d— 颗粒的粒径
y — 颗粒与表面之间的液膜的表面张力
3．2 清洁擦拭布配合清洁剂除尘的基本原理
利用低表面张力清洁剂降低液膜 值，从而降低颗粒和表面的黏附力.利用擦拭布的吸附功能将载有污染颗粒的清洁液吸入清洁擦拭布体内除去污染颗粒。
4 影响无尘擦拭布除污能力的主要因素
按生产应用实际情况，可以总结影响擦拭布除污能力的主要因素有：
擦拭布的的材质；擦拭布的结构；所使用的清洁剂；擦拭布润湿的状态；擦拭布的洁净度。
5 无尘擦拭布使用建议
5．1 擦拭布润湿40％左右，可以有效地预防清洁液倒流而造成反向污染，清洁效果最佳。
5．2 擦拭布折叠使用更能够发挥其清洁作用(可以更好地吸收污染液体，可以获得较大均匀的擦拭面积)。
5．3 10.16cm正方形擦拭布建议在擦拭的距离总和为lm左右的时候换面擦拭。
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