真空系统漏气率如何降低？

尽可能地避免出现小曲率半径的死角，要光滑过渡查刹于打麈抛光、清洗清扫。

抽空管道、送气管道等与真空室相连接的管道，采用圆弧过渡，使气路畅通无阻，但要考虑清洗清扫的方便性。

认真设计真空室内各种连接件的结构，使气路畅通，避免气路堵塞。

打磨抛光真空系统内表面，表面越光亮就越不易气体吸附，越容易获得真空。

尽可能减小真空室的体积，缩短管路系统。