FMCS(Facilities Management Control System)是工业级的控制系统,监视并控制着生产的各子系统,包含:洁净室、暖通空调、排气系统、空压系统、真空系统、纯水系统、废水处理系统、中温水系统、气体监控系统、化学品供应、电力系统等。
广泛应用于电子工厂、半导体、面板,食品等领域,满足从舒适性空调到高精度工艺环境的多样化需求。
半导体行业对于环境的要求非常高,FMCS系统作为保障半导体车间生产的关键系统,温度控制在±0.5℃,湿度控制在±3%RH范围内。
半导体、电子行业工厂厂区面积大,系统复杂,对于稳定性的要求高,加大了厂务管理人员的运维压力。
洁净厂房等场景需动态调节风量与压力,帮助企业在保证风量和压力的同时,做到节能减碳和能源使用效率的提升。
无尘环境控制:依据室内环境的需求,通过控制器控制阀门开度和风机运行频率,调节室内温湿度。保证无尘车间温湿度要求,并减少能源消耗。
冷却水塔控制:通过台达湿球温度控制策略,实现冷却水塔风扇自动加减载,与既有模式相比,节能率最高可达30%。
冰机群控功能: 依据运转条件实现冰机自动加减载。
虚拟仿真:利用3D的展示效果、直观呈现工厂FMCS系统运行状况。
故障分析: 通过柏拉图大数据分析模型,实现厂务设备的故障分析。
03 台达方案优势
台达冗余PLC和冗余SCADA采用软/硬件冗余架构,实现无扰切换。保证客户系统365天24小时不间断运行。
通过智能厂务系统的AI算法实现系统优化,减少碳排放,降低运营成本,相比传统系统,节省15%~20%的能耗。
台达智能厂务系统,可以自动获取设备运行参数,保证数据准确性和实时性,减少人为巡检。
通过变频调节实现电机的软启停,提高设备与系统使用寿命。
助力企业碳中和目标,满足企业ESG目标,提升品牌价值。
04 客户经典案例
上海某半导体厂,采用基于台达VTScada冗余+AH500冗余方案,湿度控制可达±3%,满足无尘等级十级区精准控制,通过设备预防保养,节省20%非计划保养时间,减少10%故障率。

